摘要
利用普通光刻和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术制作了红光GaInP/AlGaInP正方形微腔激光器,光功率电流曲线表明,器件实现了200 K的低温激射。对边长为10μm、输出波导长为30μm的正方形微腔激光器,室温测量得到的纵模模式间距为1.3 nm,所对应的是由输出波导和正方形腔组成的F-P腔的F-P模式。采用二维时域有限差分法(FDTD),模拟研究了侧壁粗糙对正方形腔模式品质因子的影响。
Red GaInP/AlGaInP microsquare lasers with output waveguide are fabricated by standard photolithography and inductively coupled plasma(ICP) etching techniques.The square microcavity lasers are operated at low temperature.For a 10-μm-side square microlaser with a 30-μm-long and 1.5-μm-wide output waveguide,the mode interval of 1.3 nm is observed in the amplified spontaneous emission spectra at room temperature,which corresponds to the longitudinal mode interval of the Fabry-Pérot(F-P) cavity that consists of ...
出处
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期1278-1281,共4页
Journal of Optoelectronics·Laser
基金
国家自然科学基金资助项目(60777028
60723002
60838003)
国家重点基础研究计划资助项目(2006CB302804)
