摘要
对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析，并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析，给出了部分实验数据与理论分析。
The factors having influence upon the properties of piezoresistive transducer is analyzed, and the sensitivity of the ring sensitive part, some experimental data and theory study are presented in this paper.
出处
《兵工自动化》
2000年第2期45-47,51,共4页
Ordnance Industry Automation
基金
中国工程物理研究院院外基金!98030413
关键词
压阻式传感器
灵敏度
分析
研究
Piezoresistive transducer
Sensitivity
Analysis
Research
