摘要
硫化锌晶体是一种重要的红外透过材料 ,在中红外和远红外区域光学性能良好 ,但是随着红外技术的发展 ,迫切要求拓展硫化锌的透过范围 ,使其在可见光 ,近红外区域也具有良好的光学性能 ,成为一种多光谱材料。目前 ,我们采用化学汽相沉积方法制备的ZnS晶体在 8~ 1 2 μm的远红外区域透过曲线平稳 ,透过率可达 73%以上 ,但在 3~ 5 μm区域透过率开始下降 ,特别是在可见光区域透过率迅速下降 ,透过性能变差 ,抛光后用肉眼能观察到晶体内部呈现云雾状态 ,这导致晶体在可见光区透过性能差。实验发现 ,这类晶体经后处理后 ,其内部结构缺陷可以减少或消除 ,若在生长过程中严格控制工艺条件 ,结构虽有所改善 ,但完全透明则需要通过后处理方式来实现。对硫化锌晶体的后处理有三种方式 :( 1 )在惰性气体气氛中 ,80 0~ 90 0℃的温度下退火处理。这种方法根本消除对可见光的散射。( 2 )后热压处理 :将CVD硫化锌放于加压舱内 ,在 30 0~ 1 2 0 0℃、压强在 80~ 1 2 0MPa范围内连续处理 ,处理时间取决于样品厚度、压强大小及温度高低。这种方法在一定程度上改善了材料透射性能 ,但是无法完全消除内部的结构缺陷。( 3)热等静压处理 :在 70 0~ 1 0 5 0℃、34~ 2 0 5MPa范围内对材料进行处理 ,处理时间取决于材料原?
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第S1期155-,共1页
Journal of Synthetic Crystals
关键词
硫化锌晶体
热等静压
光学性能
化学气相沉积
ZnS crystal
hot isostatic pressing
optical property
chemi cal vapor deposition