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MEMS传声器原理与应用 被引量:4

Theory and Application of MEMS Microphone
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摘要 主要介绍了MEMS传声器的基本原理、结构及声学、电气性能;简要叙述了MEMS传声器在新型IT产品使用中的基本应用与市场展望。 The basic principle, structure and acoustic & electrical performance of MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) microphone are introduced. The application and market prospect of MEMS microphones using in the IT products are described briefly.
出处 《电声技术》 2008年第S1期57-59,共3页 Audio Engineering
关键词 微机电系统 硅传声器 驻极体传声器 MEMS MEMS microphone ECM microphone
  • 相关文献

参考文献3

  • 1欧阳毅,朱桐华,解希顺,郑虎鸣.ECM使用寿命及FEP电阻率的估算[J].电声技术,2005,29(5):4-5. 被引量:3
  • 2马大猷,沈〓著..声学手册 第2版[M].北京:科学出版社,2004:844.
  • 3(美)白瑞纳克,L.L.著,章启馥等译..声学[M].北京:高等教育出版社,1959:554.

二级参考文献3

共引文献2

同被引文献24

引证文献4

二级引证文献8

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