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半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用 被引量:1

Preparation and Application of Nano Semiconductor Oxide Gas Sensors
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摘要 论述了金属氧化物 Sn O2 的气敏机理 ,并对通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物以及形成复合型、多组分氧化物等方法制备 Sn O2 The gas sensitive principle of tin dioxide was stated and the present study situation was introduced briefly on preparation of tin dioxide membranous gas sensor by means of doping metal,metal ions,metal oxides,the composite of metal oxides.
机构地区 河北工业大学
出处 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z1期343-344,共2页 Chinese Journal of Scientific Instrument
关键词 传感器 气敏材料 SNO2薄膜 制备 应用 Sensor Gas sensing materials SnO 2membrane Preparation Application
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