摘要
压电陶瓷拨爪电机具有大行程、高速、位移分辨率高等突出优点,可以避免使用传统的二级驱动,直接实现纳米级驱动定位.利用PCI-7484数据采集卡和FAGOR自反馈光栅数显卡提供的DLL动态连接库函数及VB中的Timer控件,实现了对压电陶瓷拨爪电机的实时可编程控制以及位移信号的获取,成功地构建了纳米级驱动控制系统.经测试,该系统的位移分辨率可达10 nm.
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2006年第z1期96-99,共4页
Acta Metrologica Sinica
基金
国家自然科学基金(50420120134)
安徽省高等学校省级重点实验室资助项目
