Y2O3涂层的MOCVD法制备工艺

MOCVD Preparation Method for Y2O3 Coating

下载PDF

导出

摘要采用MOCVD法,通过金属有机先驱体Y(TMHD)3与O2反应在石英或CVD-SiC基片上制备Y2O3涂层,探索了制备工艺对沉积结果的影响.结果表明,先驱体气相浓度对Y2O3涂层生长方式和涂层与基片的结合强度有很大影响;沉积温度在600℃～700℃范围内,随着温度的升高涂层致密度提高,空洞缺陷减少.

作者付正张立同成来飞龚磊何国梅罗立志夏海平

机构地区西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室厦门大学化学化工学院厦门大学化学化工学院厦门大学化学化工学院厦门大学化学化工学院

出处《航空制造技术》 2007年第z1期16-19,共4页 Aeronautical Manufacturing Technology

关键词氧化钇化学气相沉积金属有机先驱体基片

分类号 V26 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]

引文网络
相关文献

1景伟,郭领军,马春红,李贺军.MOCVD法制备抗氧化铱涂层的研究现状[J].固体火箭技术,2014,37(4):563-568. 被引量：2
2阎鑫,张秋禹.MOCVD法制备高温抗氧化铱涂层研究进展[J].宇航材料工艺,2003,33(2):1-3. 被引量：10
3王毅,李洪春,郭春峰.沉积温度对CVD-SiC涂层显微结构的影响[J].火箭推进,2014,40(4):50-56. 被引量：1
4周洪,李飞,何博,王俊,孙宝德.Nanostructured yttria stabilized zirconia coatings deposited by air plasma spraying[J].中国有色金属学会会刊：英文版,2007,17(2):389-393. 被引量：10
5常士楠,艾素霄,陈余,袁修干.一种飞机机翼表面结冰过程仿真方法[J].系统仿真学报,2008,20(10):2538-2541. 被引量：13
6梅策香,柳钰,张小安.快速凝固的非平衡效应研究[J].材料导报,2009,23(11):90-93. 被引量：3
7任福忱,王力军,谢超.蒸发管内燃油喷雾预热预蒸特性的数值模拟[J].沈阳航空工业学院学报,2009,26(1):16-19. 被引量：1
8杨胜华,林贵平.机翼结冰过程的数值模拟[J].航空动力学报,2011,26(2):323-330. 被引量：11
9童长青,成来飞,刘永胜,张立同.2D C/SiC-ZrB_2复合材料的烧蚀性能[J].航空材料学报,2012,32(2):69-74. 被引量：6
10罗瑞盈,杨峥,李贺军,康沫狂.碳/碳复合摩擦材料制备新工艺研究[J].航空学报,1995,16(5):569-573. 被引量：3

航空制造技术

2007年第z1期

浏览历史

内容加载中请稍等...

Y2O3涂层的MOCVD法制备工艺

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史