半导体行业净化空调系统节能分析

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摘要本文笔者结合工程经验总结了半导体行业洁净厂房净化空调系统主要特征:冷热负荷高、风量大、新风负荷大、系统阻力高。并在此特征的基础上分析了净化空调的节能途径有合理划分净化空调系统、净化功能与空气处理系统分离、优化空气处理过程和优化气流组织。文章的成果对半导体行业洁净厂房净化空调系统节能设计工作具有指导意义。

作者陈龙程小亮冯振鹏杜江凌

机构地区中冶南方城市建设工程技术有限公司

出处《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 2023年第12期177-179,共3页

关键词半导体洁净厂房净化空调能耗特征节能措施

分类号 TU834.8 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]

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