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氧化剂对铝栅化学机械抛光的影响

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摘要本文通过实验分析方法,对抛光液中氧化剂的浓度,在铝栅化学机械抛光效果中的影响进行研究,以为有关实践及研究提供参考。本文通过实验分析方法,对抛光液中氧化剂的浓度,在铝栅化学机械抛光效果中的影响进行研究,以为有关实践及研究提供参考。

作者张继红

机构地区沈阳市装备制造工程学校机械教研室

出处《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》 2021年第6期163-163,共1页

关键词氧化剂铝栅化学机械抛光影响

分类号 TG580.692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]

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2021年第6期

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