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半导体晶圆代工厂突发环境事件风险评估方法的构建
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摘要
风险评估是分析建设项目存在的潜在危险和有害因素,分析突发事故对周边环境影响和人身安全损害程度,提出合理防范措施和应急预案,使事故影响达到可接受水平。半导体晶圆代工厂在生产晶圆的过程中使用到的危险化学品种类较多,涉及剧毒化学品、监控化学品、易制爆、易制毒等化学品的使用和储存,存在的主要危险有害因素有火灾爆炸、化学品泄漏、污染物处理设施非正常运转等环境风险。文章探讨了半导体晶圆代工厂环境风险评估的构建。
作者
朱麟
机构地区
上海华虹宏力半导体制造有限公司
出处
《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》
2021年第1期261-261,263,共2页
关键词
突发环境事件
风险评估
晶圆厂
分类号
O471.4 [理学—半导体物理]
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