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非晶半导体的研究与应用 被引量：2
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作者 清水立生 严辉 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期348-352,共5页
1968年Ovshinsky在多元硫系薄膜中观察到电的开关与存贮效应以来 ,特别是 1975年氢化非晶Si的 p型与n型掺杂控制的实现 ,非晶半导体作为一个重要的电子材料 ,在过去的30多年中吸引了大量的基础研究并得到了广泛的应用。本文综述了至今... 1968年Ovshinsky在多元硫系薄膜中观察到电的开关与存贮效应以来 ,特别是 1975年氢化非晶Si的 p型与n型掺杂控制的实现 ,非晶半导体作为一个重要的电子材料 ,在过去的30多年中吸引了大量的基础研究并得到了广泛的应用。本文综述了至今为止非晶半导体重要的研究与应用进展 ,并探讨非晶半导体今后主要的发展趋势。 展开更多
关键词 硫系非晶半导体 氢化非晶硅 电子材料
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