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GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究
被引量：
7
1
作者
李志锋
陆卫
+4 位作者
叶红娟
袁先璋
沈学础
G.Li
S.J.Chua
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第8期1614-1619,共6页
用红外反射光谱的方法对生长在蓝宝石衬底上的α GaN外延薄膜的载流子浓度和迁移率进行了研究 .通过测量蓝宝石衬底和不同Si掺杂浓度的一系列GaN外延膜的远红外反射谱并进行理论计算和拟合 ,得到GaN中的声子振动参量和等离子振荡的频率...
用红外反射光谱的方法对生长在蓝宝石衬底上的α GaN外延薄膜的载流子浓度和迁移率进行了研究 .通过测量蓝宝石衬底和不同Si掺杂浓度的一系列GaN外延膜的远红外反射谱并进行理论计算和拟合 ,得到GaN中的声子振动参量和等离子振荡的频率及阻尼常量 ,并由此计算得到其载流子浓度和迁移率 .计算结果 ,红外方法得到的载流子浓度与Hall测量相一致 ,但迁移率比Hall迁移率要低约二分之一 .同时红外谱与喇曼谱上明显观察到LO声子与等离子体激元耦合模 ,(LPP)
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关键词
外延薄膜
载流子浓度
迁移率
氧化镓
光谱
原文传递
多探头扫描探针显微镜系统
被引量：
1
2
作者
戴长春
SU Xiao-di
+1 位作者
Hou Tee Ng
Li Fong Yau Sam
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期247-251,共5页
虽然扫描探针显微镜具有高分辨率等优异性能 ,但不足之处也显而易见。较低的扫描和采样速度使工作效率不高。多探针或多探头的概念就是为提高扫描探针显微镜的工作效率而提出的。为了摸索多探头扫描探针显微镜的特点和解决半导体工业晶...
虽然扫描探针显微镜具有高分辨率等优异性能 ,但不足之处也显而易见。较低的扫描和采样速度使工作效率不高。多探针或多探头的概念就是为提高扫描探针显微镜的工作效率而提出的。为了摸索多探头扫描探针显微镜的特点和解决半导体工业晶片检测的实际需求 ,我们设计了四探头SPM。本文主要介绍我们研制的四探头扫描探针显微镜系统 。
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关键词
扫描探针显微镜
探头
SPM
分辨率
硬件控制器
样品移动平台
图像分析
下载PDF
职称材料
RECENT PROGRESS OF ELECTROLUMINESCENT POLYMERS—CONTRIBUTION FROM IMRE,SINGAPORE
3
作者
HUANGWei
《Chinese Journal of Reactive Polymers》
2000年第f05期59-59,共1页
关键词
半导体聚合物
场致发光聚合物
进展
下载PDF
职称材料
题名
GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究
被引量：
7
1
作者
李志锋
陆卫
叶红娟
袁先璋
沈学础
G.Li
S.J.Chua
机构
中国科学院上海技术物理研究所
instituteofmaterialsresearchandengineering
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第8期1614-1619,共6页
文摘
用红外反射光谱的方法对生长在蓝宝石衬底上的α GaN外延薄膜的载流子浓度和迁移率进行了研究 .通过测量蓝宝石衬底和不同Si掺杂浓度的一系列GaN外延膜的远红外反射谱并进行理论计算和拟合 ,得到GaN中的声子振动参量和等离子振荡的频率及阻尼常量 ,并由此计算得到其载流子浓度和迁移率 .计算结果 ,红外方法得到的载流子浓度与Hall测量相一致 ,但迁移率比Hall迁移率要低约二分之一 .同时红外谱与喇曼谱上明显观察到LO声子与等离子体激元耦合模 ,(LPP)
关键词
外延薄膜
载流子浓度
迁移率
氧化镓
光谱
Keywords
α-GaN epitaxy thin film, IR reflection spectra, carrier contration, mobility, LO phonon plasmon coupling mode, Raman spectra
分类号
O484 [理学—固体物理]
原文传递
题名
多探头扫描探针显微镜系统
被引量：
1
2
作者
戴长春
SU Xiao-di
Hou Tee Ng
Li Fong Yau Sam
机构
中国科学院化学研究所
instituteofmaterialsresearchandengineering
DepartmentofChemistry
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期247-251,共5页
文摘
虽然扫描探针显微镜具有高分辨率等优异性能 ,但不足之处也显而易见。较低的扫描和采样速度使工作效率不高。多探针或多探头的概念就是为提高扫描探针显微镜的工作效率而提出的。为了摸索多探头扫描探针显微镜的特点和解决半导体工业晶片检测的实际需求 ,我们设计了四探头SPM。本文主要介绍我们研制的四探头扫描探针显微镜系统 。
关键词
扫描探针显微镜
探头
SPM
分辨率
硬件控制器
样品移动平台
图像分析
Keywords
SPM
multi probe
multi probe SPM
AFM
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
RECENT PROGRESS OF ELECTROLUMINESCENT POLYMERS—CONTRIBUTION FROM IMRE,SINGAPORE
3
作者
HUANGWei
机构
instituteofmaterialsresearchandengineering
（IMRE）
出处
《Chinese Journal of Reactive Polymers》
2000年第f05期59-59,共1页
关键词
半导体聚合物
场致发光聚合物
进展
分类号
TN304.52 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究
李志锋
陆卫
叶红娟
袁先璋
沈学础
G.Li
S.J.Chua
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
7
原文传递
2
多探头扫描探针显微镜系统
戴长春
SU Xiao-di
Hou Tee Ng
Li Fong Yau Sam
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
下载PDF
职称材料
3
RECENT PROGRESS OF ELECTROLUMINESCENT POLYMERS—CONTRIBUTION FROM IMRE,SINGAPORE
HUANGWei
《Chinese Journal of Reactive Polymers》
2000
0
下载PDF
职称材料
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参考文献
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