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液晶显示用玻璃的ITO镀层
1
作者
Wilmert De Bosscher
Krist Dellaert
+2 位作者
Steven Luys
Ann Lacres
石琳（译）
《现代显示》
2006年第9期9-12,共4页
在LCD生产中,从平板靶溅射ITO已是一项非常成熟的工艺,但如果转而采用旋转柱状靶,则可大大降低镀膜基板的成本。
关键词
平板靶
旋转柱状靶
溅射
下载PDF
职称材料
题名
液晶显示用玻璃的ITO镀层
1
作者
Wilmert De Bosscher
Krist Dellaert
Steven Luys
Ann Lacres
石琳（译）
机构
bekaert
先进
涂敷
公司
科技与重点技术部
bekaert
先进
涂敷
公司
产品
市场部
不详
北京科技大学
出处
《现代显示》
2006年第9期9-12,共4页
文摘
在LCD生产中,从平板靶溅射ITO已是一项非常成熟的工艺,但如果转而采用旋转柱状靶,则可大大降低镀膜基板的成本。
关键词
平板靶
旋转柱状靶
溅射
Keywords
planar target
rotating cylindrical target
sputtering
分类号
TN141.9 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
液晶显示用玻璃的ITO镀层
Wilmert De Bosscher
Krist Dellaert
Steven Luys
Ann Lacres
石琳（译）
《现代显示》
2006
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