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基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量
1
作者
缪磊
董再励
+2 位作者
陈浩然
李文荣
王越超
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2005年第6期691-695,共5页
随着微机电系统(MEMS)设计日趋成熟,度量问题越来越成为微系统技术中的热点。使用改进的拉普拉斯求和方法(SML)和深度估计法来测量热度驱动微夹持器末端的弯曲程度。实验中,使用了10幅在42℃时微夹持器的水下工作图像来验证这种光学聚...
随着微机电系统(MEMS)设计日趋成熟,度量问题越来越成为微系统技术中的热点。使用改进的拉普拉斯求和方法(SML)和深度估计法来测量热度驱动微夹持器末端的弯曲程度。实验中,使用了10幅在42℃时微夹持器的水下工作图像来验证这种光学聚焦方法,结果证明使用光学聚焦方法可以测量出作为驱动器反馈输入的末端弯曲大小,实现对驱动器运动的精确控制。
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关键词
微机电系统
SML算法
深度估计
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职称材料
题名
基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量
1
作者
缪磊
董再励
陈浩然
李文荣
王越超
机构
中国科学院研究生院
中国科学院沈阳自动化所机器人学重点实验室
香港中文大学
微
纳米技术
中心
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2005年第6期691-695,共5页
基金
国家863计划资助项目(2002AA431620)
文摘
随着微机电系统(MEMS)设计日趋成熟,度量问题越来越成为微系统技术中的热点。使用改进的拉普拉斯求和方法(SML)和深度估计法来测量热度驱动微夹持器末端的弯曲程度。实验中,使用了10幅在42℃时微夹持器的水下工作图像来验证这种光学聚焦方法,结果证明使用光学聚焦方法可以测量出作为驱动器反馈输入的末端弯曲大小,实现对驱动器运动的精确控制。
关键词
微机电系统
SML算法
深度估计
Keywords
Micro electrical mechanism systems
Sum-modified-laplacian algorithm
Depth estimation
分类号
TP21 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量
缪磊
董再励
陈浩然
李文荣
王越超
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2005
0
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