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可用于氧气传感器的新型高离子电导YSZ薄膜制备方法
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作者 马可贞 张靖松 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期24-30,共7页
基于微机电系统的氧化钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜氧气传感器因其小型化、集成化优势而成为新一代氧气传感器的最佳技术路线.集成化小型化的关键在于获取工作温度低,离子电导率高的YSZ薄膜.本工作探究了脉冲激光沉积技术在降低YSZ薄膜工作温... 基于微机电系统的氧化钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜氧气传感器因其小型化、集成化优势而成为新一代氧气传感器的最佳技术路线.集成化小型化的关键在于获取工作温度低,离子电导率高的YSZ薄膜.本工作探究了脉冲激光沉积技术在降低YSZ薄膜工作温度和提高其离子电导率方面的应用;通过在高真空下采用脉冲激光沉积技术,多次沉积与原位氧退火交替实施获取了厚度约为200 nm的YSZ薄膜,分析了沉积与退火温度对薄膜结构、成分、电学性能和氧气气敏性能的影响.此外,本文还验证了氧离子在氧空位中传输是薄膜的主要传导机制,且具有较低的氧离子激活能0.227 eV,最后进行了氧气敏感测试.结果表明:采用PLD法可将YSZ薄膜的工作温度从1073 K降低至873 K,这为基于MEMS的微型YSZ薄膜氧气传感器的研发进行了有效探索. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 YSZ薄膜 离子电导 氧气敏感特性
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