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可延展柔性无机微纳电子器件原理与研究进展 被引量:43
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作者 冯雪 陆炳卫 +4 位作者 吴坚 林媛 宋吉舟 宋国锋 黄永刚 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期1-18,共18页
为适应下一代电子产品便携性、形状可变性、人体适用性等方面的进一步需求,近年来基于无机电子材料的可延展柔性电子技术成为全球电子产业界与学术界关注的新焦点.与有机柔性电子学器件不同,可延展柔性无机电子器件指的是建立在柔性基... 为适应下一代电子产品便携性、形状可变性、人体适用性等方面的进一步需求,近年来基于无机电子材料的可延展柔性电子技术成为全球电子产业界与学术界关注的新焦点.与有机柔性电子学器件不同,可延展柔性无机电子器件指的是建立在柔性基底上的无机电子组件.这种具有柔性的集成电路利用力学设计提供大变形,在保持无机脆性电子器件高性能和高可靠性的同时,具备形状可弯曲、可伸缩等柔性性能.本文综述了近年来无机柔性电子器件的进展,包括力学设计原理、基于界面黏附的转印集成方法以及柔性大变形下的失效机理等,并展望了未来的应用和发展. 展开更多
关键词 可延展柔性电子器件 无机半导体材料 屈曲 黏附
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基于无线传感器网络的温室CO_2浓度监控系统 被引量:32
2
作者 王嘉宁 牛新涛 +2 位作者 徐子明 郑传涛 王一丁 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期280-285,367,共7页
设计了一种温室二氧化碳(CO_2)浓度监控系统,该系统由传感器节点、CO_2浓度调控节点、无线通信网络和上位机软件平台构成。采用红外CO_2测量模块S300作为传感器节点的核心模块对温室CO_2浓度进行实时测量,并将采集到的CO_2浓度、温湿度... 设计了一种温室二氧化碳(CO_2)浓度监控系统,该系统由传感器节点、CO_2浓度调控节点、无线通信网络和上位机软件平台构成。采用红外CO_2测量模块S300作为传感器节点的核心模块对温室CO_2浓度进行实时测量,并将采集到的CO_2浓度、温湿度、光照等环境信息通过无线网络传输至上位机软件平台,实现了对温室环境的远程监控。上位机软件平台对采集到的环境参数进行处理、信息网络同步,并通过模糊PID算法对温室内CO_2浓度进行智能调节。在通信过程中,传感器节点实时采集接收信号强度(RSSI),在保证数据传输质量的同时有效调整无线发射功率以延长节点寿命。在实验室条件下配备了标准浓度的CO_2气体样品对设计的传感器节点性能进行了标定和表征,结果显示,该传感器对CO_2体积分数的检测下限小于5×10^(-5);对体积分数为3×10^(-4)和6.5×10^(-4)的CO_2气体样品分别进行了10 h的长期测量,相对波动小于2.6%。将该监测系统在吉林省长春市双阳区奢岭镇国信采摘园进行了现场调控试验,试验温室面积为640 m^2,设定温室中CO_2的目标体积分数为8×10^(-4),经调控后温室中CO_2体积分数的波动范围约为(8±0.42)×10^(-4)。该CO_2监测系统具有小型化、高性价比、高测量精度等优势,实现了信息的智能化管理与远程同步,以及温室内CO_2浓度的智能调控。 展开更多
关键词 温室 CO2浓度传感器 无线通信网络 监控系统
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二维激光雷达定位建图系统设计与实现 被引量:11
3
作者 张旭 王智 +3 位作者 崔粲 王志玄 何人鑫 王健 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期596-600,共5页
定位建图是智能车自动导航的关键问题之一。以未知环境为研究背景,研究基于二维激光雷达的定位建图系统。激光雷达扫描周边环境建图,里程计和IMU完成航位推算提供位姿,通过滤波匹配不断更新地图构建全局地图。为实现精确实时的定位建图... 定位建图是智能车自动导航的关键问题之一。以未知环境为研究背景,研究基于二维激光雷达的定位建图系统。激光雷达扫描周边环境建图,里程计和IMU完成航位推算提供位姿,通过滤波匹配不断更新地图构建全局地图。为实现精确实时的定位建图,分析了飞行时间法激光雷达测距误差和基于IMU和里程计的航位推算误差,通过线性最小二乘和加权移动平均滤波对激光雷达原始数据进行标定和滤波;通过互补滤波抑制陀螺仪低频噪声和磁力计高频噪声;在所搭建的基于激光雷达的定位建图系统上进行了实验。实验结果表明,经过滤波校正后,提高了系统定位建图精度和稳定性。 展开更多
关键词 激光技术 激光雷达 地图构建 航位推算 滤波匹配
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0.4μm条宽的光刻 被引量:10
4
作者 刘明大 李淑文 史素姣 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1994年第4期336-339,共4页
文章讨论了MJB3UV300型光刻机的控制调整。以及抗蚀剂工艺条件的改进,消除影响曝光分辨率的驻波和衍射作用,实现了边缘整齐陡直、0.4μm条宽的光刻。
关键词 光刻 亚微米光刻 光刻胶 ULSI OEIC
全文增补中
铌酸锂基集成光波导马赫-曾德尔干涉仪的设计、制备及其特性的初步测试 被引量:8
5
作者 陈方 刘瑞鹏 祁志美 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期127-131,共5页
设计了具有推挽调制电极和消逝场敏感窗口的铌酸锂(LiNbO3)基集成光波导马赫-曾德尔干涉仪(MZI)。利用标准微光机电系统(MOEMS)加工工艺结合高温钛内扩散法制备出三维单模LiNbO3光波导MZI阵列芯片,并对芯片进行了端面抛光,实现了光纤-... 设计了具有推挽调制电极和消逝场敏感窗口的铌酸锂(LiNbO3)基集成光波导马赫-曾德尔干涉仪(MZI)。利用标准微光机电系统(MOEMS)加工工艺结合高温钛内扩散法制备出三维单模LiNbO3光波导MZI阵列芯片,并对芯片进行了端面抛光,实现了光纤-波导端面输入和输出耦合,并初步调查了干涉仪芯片的相位调制特性,结果表明,在633 nm波长下其半波调制电压为5.61 V,干涉条纹对比度为0.62。当干涉仪芯片被用于生化探测时,这种电光调制功能可用于调节干涉仪芯片的初始相位差和识别其相位差的变化方向。 展开更多
关键词 集成光学 马赫-曾德尔干涉仪 传感器 铌酸锂光波导
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半导体激光器的低频电噪声谱密度和器件的可靠性 被引量:6
6
作者 石家纬 金恩顺 +2 位作者 马靖 戴逸松 张新发 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第10期729-732,共4页
本文给出了半导体激光器的低频电噪声谱密度和器件可靠性关系的实验结果。
关键词 激光器 噪声 可靠性 半导体激光器
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信息高科技领域中的半导体光电子学 被引量:4
7
作者 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第10期721-728,共8页
本文从信息传输与处理、入网与交换、存储与读出、获取与显示等重要技术领域评述介绍了当代信息高科技的最新进展与未来的需求,着重揭示半导体光电子学在未来信息高科技发展中的关键作用与地位。
关键词 半导体光电子学 信息传输 光电子学
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求复折射率波导本征值的打靶法 被引量:5
8
作者 陈昌华 杨国文 +2 位作者 徐俊英 陈良惠 王启明 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期630-634,共5页
给出了求一维缓变复折射率波导本征值的打靶法,它是对求一维实折射率波导本征值的打靶法的推广。利用它可以分析增益或损耗对TE和TM模式的影响。
关键词 本征值 波导 打靶法 复折射率
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宽频带L波段360°模拟信号移相器的设计 被引量:6
9
作者 刘克 田小建 +1 位作者 刘悦 衣茂斌 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第3期292-299,共8页
该文介绍了宽频带360°模拟移相器的设计理论。针对移相器的线性调相、平衡插入损耗波动、宽频带等进行了详细的探讨,且推导出确定移相器频带宽度的目标函数。用CAD方法迅速而准确地优化各网络设计参量。采用微波集成电路工艺制作的... 该文介绍了宽频带360°模拟移相器的设计理论。针对移相器的线性调相、平衡插入损耗波动、宽频带等进行了详细的探讨,且推导出确定移相器频带宽度的目标函数。用CAD方法迅速而准确地优化各网络设计参量。采用微波集成电路工艺制作的L波段模拟移相器在1.3~2.1GHz范围内可获得360°连续可变相移,最大调相电压18V,中心频率线性度优于±2.5%,插入损耗波动小于3dB。综合性能均优于国内报道的移相器。 展开更多
关键词 宽频带 移相器 L波段 模拟信号 设计
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紫外写入光纤光栅应变传感特性研究 被引量:5
10
作者 李燕 徐迈 +1 位作者 王庆亚 张玉书 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期61-63,共3页
采用紫外写入光纤 Bragg光栅研究其应变传感特性。光纤光栅可借助外界应力引起轴向应变和折射率变化造成光栅 Bragg反射波长移动。在温度 2 0℃ ,利用波长在 4 0 0~ 1 80 0 nm范围色散的光谱仪并用In Ga As P/ In P ELD作宽带光源 ,从... 采用紫外写入光纤 Bragg光栅研究其应变传感特性。光纤光栅可借助外界应力引起轴向应变和折射率变化造成光栅 Bragg反射波长移动。在温度 2 0℃ ,利用波长在 4 0 0~ 1 80 0 nm范围色散的光谱仪并用In Ga As P/ In P ELD作宽带光源 ,从实验上测量了光纤光栅的应变与 Bragg反射波长间的关系 ,结果表明Bragg反射波长移动与光纤光栅外界应力变化在 1 55.4~ 1 56.8nm波长范围呈线性。外界应力引起的光纤光栅灵敏度为 1 .2 1 1 pm/ με,与理论计算结果基本一致。利用光纤光栅的应变传感特性 ,设计并制备了压力传感头。它由上、下两金属板和上金属板上可精密调节的两螺旋组成。光纤光栅的两端被分别固定在上、下金属板的定点上。上金属板可通过精密调节螺旋产生微小升降并作为荷重台面。在光纤伸长应变范围内通过螺旋调节 ,使光纤光栅产生尽可能大的伸长 ,以保持测试有较大线性范围 ;同时在 2 0℃恒温条件下 ,确定压力传感头的测试零点。用此压力传感头 ,在同一板材的不同厚度测量了压力变化引起 Bragg反射波长的移动 ,表明 :选择不同材料或同种材料不同厚度的金属板材可设计不同量程范围。这种压力传感头可适应不同量程的压力或荷载测量。 展开更多
关键词 紫外写入 光纤光栅 应变传感
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半导体锁模激光器的最新研究进展 被引量:6
11
作者 王火雷 孔亮 +5 位作者 潘教青 徐天鸿 计伟 倪海桥 崔碧峰 丁颖 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第5期14-27,共14页
超短脉冲激光源在光纤通信、生物医学成像等方面具有重要的应用前景。半导体锁模激光器具有体积小、重量轻、效率高、价格便宜等一系列优点。因此半导体锁模激光器成为超短脉冲激光源的理想选择。通过对400nm~2μm范围各个波段半导体... 超短脉冲激光源在光纤通信、生物医学成像等方面具有重要的应用前景。半导体锁模激光器具有体积小、重量轻、效率高、价格便宜等一系列优点。因此半导体锁模激光器成为超短脉冲激光源的理想选择。通过对400nm~2μm范围各个波段半导体锁模激光器的最新研究报道进行分析和总结,全面介绍了半导体锁模激光器的研究进展。 展开更多
关键词 激光器 半导体 模式锁定 超短脉冲
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展望21世纪Si基光子学的发展 被引量:5
12
作者 王启明 周炳琨 《光电子技术与信息》 2000年第2期1-6,共6页
本文从21世纪信息高科技的发展需求出发,对高速、大容量光纤传输网络和高速电子计 算机以及智能化神经网络系统的发展现状与未来给予评述,尤其着重指出Si基光子器件和光 子学在未来信息高科技发展领域中的重要作用。
关键词 光子学 光子器件 硅基
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模拟式360°线性移相器原理与应用 被引量:2
13
作者 田小建 刘悦 +1 位作者 张大明 衣茂斌 《激光与光电子学进展》 CSCD 2000年第2期16-21,共6页
介绍了模拟式 360°线性移相器的基本原理及优化设计方法 ,分析和讨论了主要技术指标的物理意义和技术规范。利用优化设计方法设计的 360°线性移相器线性度优于± 1 .77% ,工作带宽50 0 MHz。
关键词 线性移相器 线性度 微波器件 原理
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激光二极管点火系统的设计 被引量:4
14
作者 曹军胜 王立军 +4 位作者 单肖楠 王彪 刘云 高志坚 郜峰利 《应用激光》 CSCD 北大核心 2010年第2期83-85,共3页
介绍了一种基于高功率激光二极管的激光点火系统的设计,该系统对传统激光点火系统中的光路自检功能进行了改进,在保证检测安全性的前提下提高了检测的有效性,可供武器、航空航天系统等高可靠应用系统借鉴。
关键词 激光技术 激光点火 峰值检测
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从CLEO’98看半导体激光器的最新进展 被引量:1
15
作者 江剑平 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期301-307,共7页
根据CLEO’98 会议报道的有关内容,综述了半导体激光器的发展状况。重点叙述了大功率LD、可见光LD、中红外LD 及垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)
关键词 半导体光电器件 激光器 ’98国际激光器和光电子学会议
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多量子阱光波导传输特性分析 被引量:1
16
作者 马春生 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期161-166,共6页
本文给出了普适于任意阱数的方波折射率分布的多量子阶光波导的模场分布函数和特征方程,并以GaAs/AlGaAs多量子阱光波导为例分析讨论了波导结构参量及折射率分布对其传输特性的影响.
关键词 光波导 传输特性 多量子阱
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1.55μmInGaAsP/InP部份增益耦合分布反馈式激光器/电吸收调制器集成器件 被引量:1
17
作者 罗毅 文国鹏 +5 位作者 孙长征 李同宁 杨新民 王任凡 王彩玲 金锦炎 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第7期557-560,共4页
本文首次报道一种结构简单的1.55μmInGaAsP/InP部份增益耦合DFB激光器与电吸收调制器的单片集成器件.该器件采用脊波导进行横模限制,阈值电流范围为30~60mA,典型边模抑制比大于40dB,反向偏压3V时... 本文首次报道一种结构简单的1.55μmInGaAsP/InP部份增益耦合DFB激光器与电吸收调制器的单片集成器件.该器件采用脊波导进行横模限制,阈值电流范围为30~60mA,典型边模抑制比大于40dB,反向偏压3V时的消光比为11dB. 展开更多
关键词 光通信 半导体激光器 集成器件 EA调制器
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金属包覆极化聚合物光波导的优化设计 被引量:2
18
作者 高福斌 金锋 张平 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期260-262,共3页
按极化聚合物光波导器件的五层(金属-缓冲层-波导层—缓冲层-金属)对称模型,对于其金属包覆层的光学吸收所引起的光波传播损耗进行了理论分析和计算,给出了在单模条件下波导层和缓冲层折射率及其厚度之间的关系曲线.
关键词 极化聚合物 光波导 优化设计 金属包覆层
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长周期多芯手征光纤轨道角动量的调制 被引量:2
19
作者 崔粲 王智 +2 位作者 李强 吴重庆 王健 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期156-163,共8页
基于矢量模式耦合理论,在多模光纤中引入手性耦合纤芯结构,设计了一种光纤型光轨道角动量调制器.使用单根光纤,无需施加扭转或应力,可以实现任意光轨道角动量的调制.通过理论分析与数值仿真,研究了不同结构参数对轨道角动量模式纯度、... 基于矢量模式耦合理论,在多模光纤中引入手性耦合纤芯结构,设计了一种光纤型光轨道角动量调制器.使用单根光纤,无需施加扭转或应力,可以实现任意光轨道角动量的调制.通过理论分析与数值仿真,研究了不同结构参数对轨道角动量模式纯度、传输损耗和有效折射率的影响.在中心纤芯和旁纤芯传播常数不变的前提下,旁纤芯数量对损耗影响较大,通过相位匹配条件计算得到的螺距可以在一定数值范围内浮动变化,两种纤芯的间距受限于模式损耗和光纤集成度. 展开更多
关键词 轨道角动量 光纤 光学涡旋 模式
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非互易旋电材料硅基矩形波导的色散特性研究 被引量:2
20
作者 王慧莹 王智 +5 位作者 崔粲 李航天 李强 詹翔空 王健 吴重庆 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第15期248-253,共6页
研究设计了基于光通信C波段旋电材料的矩形波导,利用有效折射率法对波导有效折射率及横向电场分布进行求解,得到矩形波导中Emn^x导模的色散方程.研究了在外磁场作用下表面磁等离子体激元的非互易传播特性.还研究了结构参数和材料折射率... 研究设计了基于光通信C波段旋电材料的矩形波导,利用有效折射率法对波导有效折射率及横向电场分布进行求解,得到矩形波导中Emn^x导模的色散方程.研究了在外磁场作用下表面磁等离子体激元的非互易传播特性.还研究了结构参数和材料折射率对非互易色散关系、时延特性的影响.结果表明:其色散曲线随波导宽度的递增逐渐趋向平面波导;群速度vg与波导宽度、传播常数、工作波长相关;矩形波导芯区宽度在140—233.5 nm范围内的波导工艺容差较大;vg与矩形波导y方向包层材料折射率成正相关,当材料为金属银时慢光效应最明显,传输速度最小可以达到2.8×10^–3c. 展开更多
关键词 矩形波导 有效折射率 表面磁等离子体激元 非互易性
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