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磁场辅助激光沉积类金刚石膜初探
被引量：
3
1
作者
程勇
陆益敏
+4 位作者
黄国俊
米朝伟
黎伟
田方涛
王赛
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第11期258-262,共5页
提出了磁场辅助激光沉积类金刚石(DLC)膜技术,在硅基底附近添加磁力线向基底收拢的磁场,用以迫使侧向飞行的离子向基底靠拢并参与成膜。由于离子向基底的集中,使其在膜层中含量大幅上升,间接地减少了大颗粒的比例,因此,与无磁场条件下...
提出了磁场辅助激光沉积类金刚石(DLC)膜技术,在硅基底附近添加磁力线向基底收拢的磁场,用以迫使侧向飞行的离子向基底靠拢并参与成膜。由于离子向基底的集中,使其在膜层中含量大幅上升,间接地减少了大颗粒的比例,因此,与无磁场条件下制备的DLC膜相比,引入磁场不仅提高了DLC膜的沉积速率,而且提高了其机械硬度;更重要的是,间接地证明了激光对靶材离化的高效性,为脉冲激光沉积(PLD)结合磁过滤技术提供了可行性的依据。
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关键词
磁场辅助脉冲激光沉积
类金刚石膜
纳米硬度
厚度分布
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职称材料
氧气氛环境对无氢类金刚石膜红外性能的影响
被引量：
1
2
作者
陆益敏
黄国俊
+4 位作者
王赛
米朝伟
蔡晓红
田方涛
程勇
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第4期182-187,共6页
采用飞秒激光制备了无氢氧掺杂类金刚石膜,研究了环境气压对膜层红外性能的影响,并从掺杂含量、原子键、晶态结构等微观特性方面分析了膜层在含氧条件下的演变。研究发现:氧气氛环境可以提高无氢类金刚石膜中金刚石相的含量,有效降低类...
采用飞秒激光制备了无氢氧掺杂类金刚石膜,研究了环境气压对膜层红外性能的影响,并从掺杂含量、原子键、晶态结构等微观特性方面分析了膜层在含氧条件下的演变。研究发现:氧气氛环境可以提高无氢类金刚石膜中金刚石相的含量,有效降低类金刚石膜的红外吸收,从而增强其红外透射性能;膜层折射率可以由气氛环境自由调控,为多层光学膜的设计提供了匹配手段;氧气氛环境未改变类金刚石膜的非晶结构,不会妨害其红外性能。提出了碳膜在含氧条件下的原子键重组模型,丰富了氧掺杂类金刚石膜的研究,为提升类金刚石膜对红外窗口的增透保护提供了理论分析和实践依据。
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关键词
薄膜
脉冲激光沉积
无氢类金刚石膜
氧气氛环境
红外性能
原子键
原文传递
脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究
被引量：
1
3
作者
黄国俊
陆益敏
+3 位作者
程勇
田方涛
米朝伟
万强
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第7期136-140,共5页
采用脉冲激光沉积法在锗基底制备无氢SiC薄膜,研究了激光能量对SiC薄膜显微结构、成分和红外光学性能的影响规律。利用傅里叶红外光谱仪测量了锗基底SiC薄膜样品的红外透射光谱,其在785 cm^-1附近有一个强烈Si-C键特征吸收峰,并在红外波...
采用脉冲激光沉积法在锗基底制备无氢SiC薄膜,研究了激光能量对SiC薄膜显微结构、成分和红外光学性能的影响规律。利用傅里叶红外光谱仪测量了锗基底SiC薄膜样品的红外透射光谱,其在785 cm^-1附近有一个强烈Si-C键特征吸收峰,并在红外波数4 000~1 300 cm^-1之间具有良好的透过性。通过对透射光谱拟合计算可知:在红外波段2.5~7.7μm之间,SiC薄膜的折射率和消光系数均随着激光能量的增加而增大,折射率大约从2.15上升到2.33,激光能量从400 mJ增加到600 mJ,且当激光能量为400、500 mJ时,消光系数均在10^-3量级以内,光学吸收很小。研究表明,SiC薄膜在红外2.5~7.7μm波段是一种优异的光学薄膜材料。
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关键词
脉冲激光沉积
SIC薄膜
红外光谱
光学性能
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职称材料
双激光制备双层结构类金刚石膜的实验研究
被引量：
4
4
作者
陆益敏
黄国俊
+2 位作者
郭延龙
程勇
韦尚方
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2018年第11期365-370,共6页
利用飞秒激光和纳秒激光分别在氧气氛环境和高真空环境中烧蚀石墨靶材,在硅基底上获得了两种不同的类金刚石膜,通过红外透过曲线的拟合,获得了各自的光学参数;进而设计和制备了不同厚度组合的双层结构类金刚石膜硅基底样品:飞秒激光在...
利用飞秒激光和纳秒激光分别在氧气氛环境和高真空环境中烧蚀石墨靶材,在硅基底上获得了两种不同的类金刚石膜,通过红外透过曲线的拟合,获得了各自的光学参数;进而设计和制备了不同厚度组合的双层结构类金刚石膜硅基底样品:飞秒激光在氧气氛环境中制备的类金刚石膜具有低折射率、高透过性的特点,所以将其作为双层膜的内层,发挥其红外增透效能;纳秒激光在高真空环境中制备的类金刚石膜具有高硬度、耐蚀性的特点,所以将其作为双层膜的外表层,发挥其抗划、耐蚀的功能。实验测试表明:随着外表保护层厚度的增加,样品的中红外平均透过率逐渐下降0.5%～3%,表面硬度提高7.2～24.7 GPa。碱溶液浸泡试验表明,外表保护层能够承受碱溶液腐蚀,但过薄的保护层不能阻止溶液向膜层内部的渗透,从而使得不具有耐蚀性的红外增透层被腐蚀。研究结果为不同应用目的的双层膜或多层膜结构的设计与制备提供了实验基础。
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关键词
双激光沉积
双层结构类金刚石膜
红外特性
纳米硬度
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职称材料
激光制备多层结构的软质基底耐磨类金刚石膜
5
作者
程勇
陆益敏
+5 位作者
黄国俊
万强
黎伟
韦尚方
田方涛
米朝伟
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期102-106,共5页
为提高金属铜软基底的耐磨、抗蚀能力,采用脉冲激光沉积技术制备了金属铜基底上的多层结构类金刚石保护膜;其中的碳化硅-类金刚石循环层避免了类金刚石膜层中内应力的累积,降低了功能类金刚石层破裂的风险,碳化硅持力层降低了软质铜基...
为提高金属铜软基底的耐磨、抗蚀能力,采用脉冲激光沉积技术制备了金属铜基底上的多层结构类金刚石保护膜;其中的碳化硅-类金刚石循环层避免了类金刚石膜层中内应力的累积,降低了功能类金刚石层破裂的风险,碳化硅持力层降低了软质铜基底与高硬度类金刚石层的硬度差,金属钛层则使得铜基底与上层碳化硅层牢固结合。实验测试表明,多层结构类金刚石保护膜在铜基底上附着牢固,可通过美军标MIL-48497A规定的重摩擦和国军标GJB150.5A-2009规定的高低温冲击试验,同时能够承受弱碱溶液的腐蚀;摩擦系数低、处于0.093以下,耐磨性能好、2h摩擦未见磨痕。针对不同金属基底特性改进工艺,该技术可应用于存在腐蚀性环境中机械工具的抗磨保护膜。
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关键词
脉冲激光沉积
多层结构类金刚石膜
摩擦性能
耐蚀性能
下载PDF
职称材料
题名
磁场辅助激光沉积类金刚石膜初探
被引量：
3
1
作者
程勇
陆益敏
黄国俊
米朝伟
黎伟
田方涛
王赛
机构
陆军
工程
大学
光电
技术
研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第11期258-262,共5页
基金
军内科研项目(012016017000B12503)
文摘
提出了磁场辅助激光沉积类金刚石(DLC)膜技术,在硅基底附近添加磁力线向基底收拢的磁场,用以迫使侧向飞行的离子向基底靠拢并参与成膜。由于离子向基底的集中,使其在膜层中含量大幅上升,间接地减少了大颗粒的比例,因此,与无磁场条件下制备的DLC膜相比,引入磁场不仅提高了DLC膜的沉积速率,而且提高了其机械硬度;更重要的是,间接地证明了激光对靶材离化的高效性,为脉冲激光沉积(PLD)结合磁过滤技术提供了可行性的依据。
关键词
磁场辅助脉冲激光沉积
类金刚石膜
纳米硬度
厚度分布
Keywords
magnet-assistant pulsed laser deposition
diamond-like carbon film
nano-hardness
thickness distributing
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
氧气氛环境对无氢类金刚石膜红外性能的影响
被引量：
1
2
作者
陆益敏
黄国俊
王赛
米朝伟
蔡晓红
田方涛
程勇
机构
陆军
工程
大学
光电
技术
研究所
陆军
工程
大学
装备底盘系
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第4期182-187,共6页
基金
军内科研项目(012016017000B12503)。
文摘
采用飞秒激光制备了无氢氧掺杂类金刚石膜,研究了环境气压对膜层红外性能的影响,并从掺杂含量、原子键、晶态结构等微观特性方面分析了膜层在含氧条件下的演变。研究发现:氧气氛环境可以提高无氢类金刚石膜中金刚石相的含量,有效降低类金刚石膜的红外吸收,从而增强其红外透射性能;膜层折射率可以由气氛环境自由调控,为多层光学膜的设计提供了匹配手段;氧气氛环境未改变类金刚石膜的非晶结构,不会妨害其红外性能。提出了碳膜在含氧条件下的原子键重组模型,丰富了氧掺杂类金刚石膜的研究,为提升类金刚石膜对红外窗口的增透保护提供了理论分析和实践依据。
关键词
薄膜
脉冲激光沉积
无氢类金刚石膜
氧气氛环境
红外性能
原子键
Keywords
thin films
pulse laser deposition
non-hydrogenated diamond-like carbon film
oxygen atmosphere
infrared property
atomic bond
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究
被引量：
1
3
作者
黄国俊
陆益敏
程勇
田方涛
米朝伟
万强
机构
陆军
工程
大学
光电
技术
研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第7期136-140,共5页
基金
国家自然科学基金(61705268)
文摘
采用脉冲激光沉积法在锗基底制备无氢SiC薄膜,研究了激光能量对SiC薄膜显微结构、成分和红外光学性能的影响规律。利用傅里叶红外光谱仪测量了锗基底SiC薄膜样品的红外透射光谱,其在785 cm^-1附近有一个强烈Si-C键特征吸收峰,并在红外波数4 000~1 300 cm^-1之间具有良好的透过性。通过对透射光谱拟合计算可知:在红外波段2.5~7.7μm之间,SiC薄膜的折射率和消光系数均随着激光能量的增加而增大,折射率大约从2.15上升到2.33,激光能量从400 mJ增加到600 mJ,且当激光能量为400、500 mJ时,消光系数均在10^-3量级以内,光学吸收很小。研究表明,SiC薄膜在红外2.5~7.7μm波段是一种优异的光学薄膜材料。
关键词
脉冲激光沉积
SIC薄膜
红外光谱
光学性能
Keywords
pulsed laser deposition
SiC film
infrared spectrum
optical properties
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
双激光制备双层结构类金刚石膜的实验研究
被引量：
4
4
作者
陆益敏
黄国俊
郭延龙
程勇
韦尚方
机构
陆军
工程
大学
光电
技术
研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2018年第11期365-370,共6页
基金
国家部委预先研究项目(012016017000B12503)
文摘
利用飞秒激光和纳秒激光分别在氧气氛环境和高真空环境中烧蚀石墨靶材,在硅基底上获得了两种不同的类金刚石膜,通过红外透过曲线的拟合,获得了各自的光学参数;进而设计和制备了不同厚度组合的双层结构类金刚石膜硅基底样品:飞秒激光在氧气氛环境中制备的类金刚石膜具有低折射率、高透过性的特点,所以将其作为双层膜的内层,发挥其红外增透效能;纳秒激光在高真空环境中制备的类金刚石膜具有高硬度、耐蚀性的特点,所以将其作为双层膜的外表层,发挥其抗划、耐蚀的功能。实验测试表明:随着外表保护层厚度的增加,样品的中红外平均透过率逐渐下降0.5%～3%,表面硬度提高7.2～24.7 GPa。碱溶液浸泡试验表明,外表保护层能够承受碱溶液腐蚀,但过薄的保护层不能阻止溶液向膜层内部的渗透,从而使得不具有耐蚀性的红外增透层被腐蚀。研究结果为不同应用目的的双层膜或多层膜结构的设计与制备提供了实验基础。
关键词
双激光沉积
双层结构类金刚石膜
红外特性
纳米硬度
Keywords
double laser beams deposition
double-layer diamond-like carbon film
infrared property
nanohardness
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
激光制备多层结构的软质基底耐磨类金刚石膜
5
作者
程勇
陆益敏
黄国俊
万强
黎伟
韦尚方
田方涛
米朝伟
机构
陆军
工程
大学
光电
技术
研究所
出处
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期102-106,共5页
基金
国家部委基金资助项目(012016017000B12503)
文摘
为提高金属铜软基底的耐磨、抗蚀能力,采用脉冲激光沉积技术制备了金属铜基底上的多层结构类金刚石保护膜;其中的碳化硅-类金刚石循环层避免了类金刚石膜层中内应力的累积,降低了功能类金刚石层破裂的风险,碳化硅持力层降低了软质铜基底与高硬度类金刚石层的硬度差,金属钛层则使得铜基底与上层碳化硅层牢固结合。实验测试表明,多层结构类金刚石保护膜在铜基底上附着牢固,可通过美军标MIL-48497A规定的重摩擦和国军标GJB150.5A-2009规定的高低温冲击试验,同时能够承受弱碱溶液的腐蚀;摩擦系数低、处于0.093以下,耐磨性能好、2h摩擦未见磨痕。针对不同金属基底特性改进工艺,该技术可应用于存在腐蚀性环境中机械工具的抗磨保护膜。
关键词
脉冲激光沉积
多层结构类金刚石膜
摩擦性能
耐蚀性能
Keywords
pulsed laser deposition
multi-layer diamond-like carbon film
tribological property
corrosion resistance
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁场辅助激光沉积类金刚石膜初探
程勇
陆益敏
黄国俊
米朝伟
黎伟
田方涛
王赛
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019
3
下载PDF
职称材料
2
氧气氛环境对无氢类金刚石膜红外性能的影响
陆益敏
黄国俊
王赛
米朝伟
蔡晓红
田方涛
程勇
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
1
原文传递
3
脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究
黄国俊
陆益敏
程勇
田方涛
米朝伟
万强
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019
1
下载PDF
职称材料
4
双激光制备双层结构类金刚石膜的实验研究
陆益敏
黄国俊
郭延龙
程勇
韦尚方
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2018
4
下载PDF
职称材料
5
激光制备多层结构的软质基底耐磨类金刚石膜
程勇
陆益敏
黄国俊
万强
黎伟
韦尚方
田方涛
米朝伟
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
0
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职称材料
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