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微机电系统微摩擦测试技术研究 被引量：2
1
作者 吴翠红 于博 +2 位作者 赵晶 刘效含 吴欣宇 《计量学报》 CSCD 北大核心 2021年第10期1288-1293,共6页
为解决微机电系统存在的微摩擦问题,提出了一种以光反射为基础的微摩擦测试技术。探讨了该测试方法的基本原理和实施步骤,设计研发了微机电系统的微摩擦测试样机,详细分析了该测试系统计量标定的完整过程,最终得到了该系统的计量测试数... 为解决微机电系统存在的微摩擦问题,提出了一种以光反射为基础的微摩擦测试技术。探讨了该测试方法的基本原理和实施步骤,设计研发了微机电系统的微摩擦测试样机,详细分析了该测试系统计量标定的完整过程,最终得到了该系统的计量测试数据及曲线。通过对Cu-Si、Al-Si表面进行微摩擦实验测试,得到了Cu-Si、Al-Si表面的μm量级微摩擦系数,有效验证了该测试系统能够满足微机电系统微摩擦测试的需要,同时,也为微机构运动特性的理解及设计提供了依据。 展开更多
关键词 计量学 微摩擦 微机电系统 测试技术 光反射 计量标定
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Cu/AlN/Cu梯度复合电极材料的制备及性能研究 被引量：2
2
作者 刘可心 王蕾 +3 位作者 张海鸣 于洪杰 隋涛 金松哲 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期1264-1270,共7页
选用纯Cu、粗粉AlN及细粉AlN为原料,利用放电等离子烧结(SPS)技术采用两步烧结法制备Cu/AlN/Cu梯度复合电极材料,并利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、阿基米德法和材料热导率测试仪对Cu/AlN/Cu电极材料的性能进行研究。研究表明:通过两... 选用纯Cu、粗粉AlN及细粉AlN为原料,利用放电等离子烧结(SPS)技术采用两步烧结法制备Cu/AlN/Cu梯度复合电极材料,并利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、阿基米德法和材料热导率测试仪对Cu/AlN/Cu电极材料的性能进行研究。研究表明:通过两步烧结法制备的Cu/AlN/Cu块体试样抛光截面层对称结构清晰,中间层为AlN层,最外层为金属Cu,过渡层均匀且结合良好,没有发现裂纹等缺陷,符合梯度设计要求;对称气孔梯度AlN前驱体的密度随着气孔AlN中粗粉AlN的含量增加而减小,渗Cu后的样品密度和Cu的相对含量随着气孔AlN中粗粉AlN的含量增加而增多;其中100%(原子分数)粗粉AlN经烧结后密度为2.14 g·cm^(-3),渗Cu后密度为4.39 g·cm^(-3),Cu相对含量为26.68%;而50%粗粉AlN+50%细粉AlN经烧结后密度为2.67 g·cm^(-3),渗Cu后密度为3.18 g·cm^(-3),Cu相对含量为7.46%;根据公式Voight和Reuss推算Cu/AlN复合材料的热导率在Cu和AlN单相热导率数值之间,满足电极高热导率的要求。 展开更多
关键词 放电等离子烧结 电极材料 AlN/Cu 热电器件
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