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链状碳纳米管的制备及其场发射性能研究 被引量：1
1
作者 高金海 张洁 +1 位作者 李成刚 张兵临 《电子器件》 CAS 北大核心 2022年第6期1354-1357,共4页
利用微波等离子体化学气相沉积的方法,在钛金属层上快速制备出由众多内部中空、外观呈锥形链状的碳纳米管组成的碳膜。通过扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱等仪器分析了碳纳米管的组成。在真空条件下,测量了碳纳米管链薄膜的场电子发射特... 利用微波等离子体化学气相沉积的方法,在钛金属层上快速制备出由众多内部中空、外观呈锥形链状的碳纳米管组成的碳膜。通过扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱等仪器分析了碳纳米管的组成。在真空条件下,测量了碳纳米管链薄膜的场电子发射特性。用热动力学过程解释了锥形碳纳米链的生长机理。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 碳纳米管链 场发射
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