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干涉仪移相器相位移π/2标定方法的研究 被引量：6
1
作者 朱煜 陈进榜 +2 位作者 朱日宏 陈磊 肖玉玲 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第10期951-954,共4页
干涉仪移相器的相位标定在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度．本文是用傅里叶变换的原理，测量出推动移相器移动的压电陶瓷堆（PZT）的微位移量，并在此基础上提出了一种用空域滤波法得到干涉因光强分布，并判断其移相误差从而校... 干涉仪移相器的相位标定在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度．本文是用傅里叶变换的原理，测量出推动移相器移动的压电陶瓷堆（PZT）的微位移量，并在此基础上提出了一种用空域滤波法得到干涉因光强分布，并判断其移相误差从而校正移相器步进。／2的方法．本文组建了一套数字平面干涉仪，对干涉仪移相器进行实验，在5步法情况下其移相误差在0．5％以下． 展开更多
关键词 干涉仪移相器 微位移 标定
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