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基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤超声水听器 被引量：3
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作者 张洁 赵纯亮 +4 位作者 曾德平 贾平岗 王帅杰 马兹国 王代华 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第3期355-358,共4页
针对高强度聚焦超声(HIFU)声场测量,提出并研究了一种基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤水听器。采用真空气相沉积法在光纤的端面蒸镀Parylene膜构成光纤水听器的法-珀腔,分析了光纤水听器的传感原理和解调原理,建立了HIFU声场检测的实... 针对高强度聚焦超声(HIFU)声场测量,提出并研究了一种基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤水听器。采用真空气相沉积法在光纤的端面蒸镀Parylene膜构成光纤水听器的法-珀腔,分析了光纤水听器的传感原理和解调原理,建立了HIFU声场检测的实验系统。实验结果表明,基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤水听器能准确传感超声信号,其输出与换能器驱动电压的非线性度小于0.01,且与聚偏氟乙烯(PVDF)针式水听器的测量结果基本一致。 展开更多
关键词 光纤传感器 法-珀干涉 Parylene膜 水听器 高强度聚焦超声
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