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多晶金刚石衬底范德瓦耳斯外延GaN薄膜
1
作者 白玲 宁静 +6 位作者 张进成 王东 王博宇 武海迪 赵江林 陶然 李忠辉 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第5期901-908,共8页
随着氮化镓(GaN)在高功率领域的广泛应用,GaN基器件的散热性能成为了制约其功率密度的主要因素,因此开辟新的热管理方案至关重要。具有高热导率的金刚石衬底可以用于改善GaN器件的散热问题。然而,由于金刚石和GaN之间的天然晶格失配,在... 随着氮化镓(GaN)在高功率领域的广泛应用,GaN基器件的散热性能成为了制约其功率密度的主要因素,因此开辟新的热管理方案至关重要。具有高热导率的金刚石衬底可以用于改善GaN器件的散热问题。然而,由于金刚石和GaN之间的天然晶格失配,在金刚石衬底上GaN的直接外延仍然是一个难以克服的问题。本工作以二维材料/Al组分渐变的AlGaN异质结作为衬底与外延层之间的成核层,在多晶金刚石衬底上实现了单晶GaN薄膜的范德瓦耳斯外延。其中,二维材料可以有效屏蔽掉衬底与外延层晶格不匹配带来的不良影响,而Al组分渐变的AlGaN缓冲层结构可实现Ga原子和N原子的有序迁移,进而精确地控制GaN薄膜的生长。本工作为异质衬底上高质量生长氮化物提供新思路。实验结果表明,成核层的引入有效地消除晶格失配的影响,从而打破了金刚石衬底上难以直接外延单晶GaN薄膜的瓶颈。本工作为GaN基器件的功率密度的进一步提升提供了基础。 展开更多
关键词 GAN 金刚石 范德瓦耳斯外延生长 高散热 Al组分渐变 二维材料
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智能重构下芜湖微电子产业公共研发服务平台建设研究
2
作者 马得林 吴勇 王东 《无线互联科技》 2020年第8期116-121,共6页
微电子技术快速发展,已成为“互联网+智能”时代的技术基石;从制造业视角看,在全球范围内,微电子产业逐渐成为创新价值链的核心,这种趋势带动了全球制造业的智能化重构。文章分析了我国微电子产业发展的现状,指出了制造业智能重构是我... 微电子技术快速发展,已成为“互联网+智能”时代的技术基石;从制造业视角看,在全球范围内,微电子产业逐渐成为创新价值链的核心,这种趋势带动了全球制造业的智能化重构。文章分析了我国微电子产业发展的现状,指出了制造业智能重构是我国制造业迭代升级、变轨超车的重要机遇。基于安徽芜湖市的区位和产业状况,认为位于长三角区域的芜湖,已初步具备了完整的智能汽车制造基础,形成了一定的产业特色,但距离形成有全球竞争力的智能制造创新价值链基地还有较大差距,建立微电子产业公共研发服务平台是芜湖市实现智能制造重构、微电子产业变轨超车的重要步骤,该平台的建设对于芜湖市成为中国第三代半导体研发和生产基地具有战略意义。 展开更多
关键词 智能制造 微电子产业 公共服务平台
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客座主编寄语
3
作者 张玉明 《微纳电子与智能制造》 2021年第2期7-7,共1页
集成电路在现代社会具有不可替代的重要作用。它广泛存在于各个领域的设备中,如数据中心、通信设备、汽车、手机、个人计算机、智能家电等。目前集成电路的规模可达到百亿数量晶体管,器件和工艺的复杂度高,需要计算机辅助设计软件与工... 集成电路在现代社会具有不可替代的重要作用。它广泛存在于各个领域的设备中,如数据中心、通信设备、汽车、手机、个人计算机、智能家电等。目前集成电路的规模可达到百亿数量晶体管,器件和工艺的复杂度高,需要计算机辅助设计软件与工具进行研发和制造。用计算机软件和工具辅助集成电路设计,称为电子设计自动化(Electronic Design Automation,简称EDA)。EDA是支撑集成电路发展的基础,是电子信息技术和产业智能化发展的核心技术之一。 展开更多
关键词 计算机辅助设计软件 计算机软件 电子设计自动化 数据中心 集成电路 AUTOMATION 电子信息技术 智能家电
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