不同磁控溅射模式膜厚均匀性研究 被引量：18

1

作者 惠迎雪 杭凌侠 +1 位作者 徐均琪 陈伟 《西安工业学院学报》 2003年第1期32-36,共5页

　使用磁控溅射和非平衡磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积钛膜.实验了在同等工艺条件下平衡和非平衡两种不同的工作模式对膜厚均匀性的影响.结果表明,靶基距是影响磁控溅射薄膜厚度均匀性的重要工艺参数,在一定范围内,随着靶基距的增大,... 　使用磁控溅射和非平衡磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积钛膜.实验了在同等工艺条件下平衡和非平衡两种不同的工作模式对膜厚均匀性的影响.结果表明,靶基距是影响磁控溅射薄膜厚度均匀性的重要工艺参数,在一定范围内,随着靶基距的增大,膜厚分布均匀性有提高的趋势;磁场分布是影响两种磁控溅射膜厚分布差异的主要因素;非平衡磁控溅射膜厚均匀性随附加励磁线圈电流改变而变化. 展开更多

关键词 磁控溅射 非平衡磁控溅射 均匀性 靶基距

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光学非球面元件非球面度计算方法 被引量：21

2

作者 杜玉军 任海霞 刘中本 《应用光学》 CAS CSCD 2002年第5期42-45,共4页

详细介绍光学非球面元件非球面度计算的牛顿迭代法、近似法、最小二乘法 3种方法 ,并根据工程实践比较了 3种方法的优缺点 ,得出了工程应用中的结论 :近似法适用于一些相对孔径较小的非球面 ,否则误差会较大 ;牛顿迭代法的精度较高 ,但... 详细介绍光学非球面元件非球面度计算的牛顿迭代法、近似法、最小二乘法 3种方法 ,并根据工程实践比较了 3种方法的优缺点 ,得出了工程应用中的结论 :近似法适用于一些相对孔径较小的非球面 ,否则误差会较大 ;牛顿迭代法的精度较高 ,但计算量大也最复杂 ,且不能直接得到最接近参考圆的圆心位置坐标 ;最小二乘法的计算方法简单 ,不涉及求导、积分、迭代 ,适合编写计算程序 。 展开更多

关键词 光学非球面元件 计算方法 非球面度 最接近参考球面 牛顿迭代法 近似法 最小二乘法

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端部霍尔离子源工作特性及等离子体特性研究 被引量：13

3

作者 潘永强 朱昌 +1 位作者 陈智利 杭凌侠 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第1期57-60,共4页

研制了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的端部霍尔等离子体离子源 ,论述了该源的工作原理以及伏安特性。着重研究了用五栅网探针测试该源所发射的离子能量的原理和方法 ,并对测量结果进行了分析、比较。

关键词 离子束辅助沉积 光学薄膜 端部霍尔等离子体 离子源 工作原理 束流密度

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光学塑料真空镀膜附着力机理与工艺研究 被引量：14

4

作者 潘永强 卢进军 万菁昱 《应用光学》 CAS CSCD 2003年第3期32-34,共3页

　依据光学塑料的基本特性,研究光学塑料真空镀膜过程中附着力的有关问题。论述薄膜生长过程中影响薄膜附着力的各种因素,针对其相关因素作了具体的理论分析。在真空镀膜实验的基础上,提出了一种提高真空镀膜附着力的具体方法。

关键词 光学塑料 真空镀膜 附着力 薄膜生长 生长工艺 生长机理

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ControlLogix PLC控制系统的组成及应用 被引量：11

5

作者 樊超 《现代电子技术》 2004年第3期17-18,21,共3页

美国 A B公司生产的 Control L ogix PL C在工业控制系统中得到了广泛的应用 ,本文将通过一个例子简要介绍该控制系统的特点。

关键词 控制系统 CONTROLLOGIX Logix5550 PCL

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长度测量中违背阿贝原则产生误差的平行尺补偿 被引量：8

6

作者 徐昌杰 董威 +1 位作者 刘缠牢 李林 《光学技术》 CAS CSCD 2002年第1期80-82,共3页

提出了一种平行尺补偿方法 ,可以对一维和二维情况由于违背阿贝原则的长度测量所引起的误差进行补偿。计算表明 ,对于直线度为 1′的直线运动导轨 ,在一维情况下违背阿贝原则 ,用双平行尺补偿与符合阿贝原则的测量仅增加 0 0 3μm的误... 提出了一种平行尺补偿方法 ,可以对一维和二维情况由于违背阿贝原则的长度测量所引起的误差进行补偿。计算表明 ,对于直线度为 1′的直线运动导轨 ,在一维情况下违背阿贝原则 ,用双平行尺补偿与符合阿贝原则的测量仅增加 0 0 3μm的误差 ;而在相同情况下 ,无平行尺补偿的不符合阿贝原则的测量将产生 30 μm的误差。对于二维情况下的三平行尺补偿的计算也有相同的结论。计算分析表明 ,平行尺补偿有较高的补偿精度。并且简单易行 ,这种补偿原理可以看作为对阿贝原则的推广 。 展开更多

关键词 长度测量 阿贝原则 平行尺补偿

原文传递

类金刚石薄膜硬度的研究 被引量：7

7

作者 蔡长龙 王季梅 +2 位作者 杭凌侠 严一心 徐均琪 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期9-11,共3页

采用脉冲真空电弧离子源镀制了类金刚石薄膜 ,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素 ,包括 :基片温度、主回路电压、清洗时间、膜层厚度和脉冲频率等 ,分析了各种镀制参数对薄膜硬度的影响机理 。

关键词 类金刚石薄膜 脉冲电弧 硬度 工艺参数

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头盔式双目微光夜视仪研制 被引量：9

8

作者 高明 强西林 +1 位作者 陈智利 高丽 《西安工业学院学报》 2001年第4期300-304,共5页

头盔式双目微光夜视仪主要用于飞行员在低照度的夜间观察目标 .设计了头盔式双目微光夜视仪的光学系统与结构 ,通过对试制的样机测试 。

关键词 飞行员夜间成像系统 光学设计 头盔式双目微光夜视仪

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光学薄膜厚度监控——极值点判断方法研究 被引量：7

9

作者 韩军 弥谦 杨晓军 《西安工业学院学报》 2001年第2期105-109,共5页

提出了一种计算机自动判读极值点的方法 .利用此方法可以在光学薄膜厚度监控过程中 ,实现计算机对规整λ/4膜系膜层厚度的自动监控 .此方法具有监控精度高。

关键词 自动监控 薄膜厚度 极值点 光学薄膜 计算机

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利用迈克尔逊干涉仪测量光学球面的曲率半径 被引量：7

10

作者 徐昌杰 潘永强 《西安工业学院学报》 2002年第1期31-34,共4页

提出了一种光学球面曲率半径的无损测量方法 .它利用麦克尔逊干涉仪的白光干涉零级暗条纹测出平面与被测球面相交的圆直径及相应的矢高值后 ,便可求得球面曲率半径 .测量过程中无测量力的影响 ,也不会损坏被测件表面 ,而且测量时对被测... 提出了一种光学球面曲率半径的无损测量方法 .它利用麦克尔逊干涉仪的白光干涉零级暗条纹测出平面与被测球面相交的圆直径及相应的矢高值后 ,便可求得球面曲率半径 .测量过程中无测量力的影响 ,也不会损坏被测件表面 ,而且测量时对被测件安装定位无特殊要求 ,误差环节少 。 展开更多

关键词 迈克尔逊干涉仪 光学球面 曲率半径 白光干涉条纹 光学测量

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脉冲真空电弧离子镀沉积速率的研究 被引量：5

11

作者 蔡长龙 王季梅 +3 位作者 弥谦 杭凌侠 严一心 徐均琪 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期27-29,共3页

薄膜沉积速率是影响薄膜性能的重要参数 ,研究它对于沉积优良的类金刚石薄膜具有重要的作用。针对脉冲真空电弧离子镀的具体工艺参数 ,研究了各种工艺参数对类金刚石薄膜沉积速率的影响 ,找出了影响类金刚石薄膜沉积速率的主要参数 。

关键词 脉冲真空电弧离子镀 沉积速率 研究 类金刚石薄膜

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测量LED/LD功率-电压-电流特性的装置 被引量：1

12

作者 陈彤 蔡长龙 《西安工业学院学报》 2001年第4期326-328,共3页

为了测量LED/LD的功率 电压 电流特性曲线 ,合理选择其工作点 ,设计了一种采用集成运算放大器的测量电路 ,其中包括电流源、稳压、调节等部分 .经实验 ,由所得数据做出的LED/LD的功率 电压 电流 (P U I)特性曲线与其理论曲线相符 ,... 为了测量LED/LD的功率 电压 电流特性曲线 ,合理选择其工作点 ,设计了一种采用集成运算放大器的测量电路 ,其中包括电流源、稳压、调节等部分 .经实验 ,由所得数据做出的LED/LD的功率 电压 电流 (P U I)特性曲线与其理论曲线相符 ,从而说明本测量电路设计的可行性 . 展开更多

关键词 P-U-I特性 发光二极管 LED 激光二极管 LD 光纤通信 设计 测量电路 UCI 电压-电流特性 压控电流源 UCI 光功率-电流

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光栅投影系统设计 被引量：1

13

作者 尚小燕 权贵秦 田爱玲 《西安科技学院学报》 北大核心 2002年第3期364-366,共3页

论述了光栅投影系统中冷光源的设计及用于光栅投影的透镜设计。前者运用透红外冷反光镜 ,实现了对可见光的高反射 ,对红外光 80 %以上透射 ,使得输出光热量很少 ,降低了测量误差 ;后者采用基本对称结构 ,并对球差及畸变进行校正 ,达到要... 论述了光栅投影系统中冷光源的设计及用于光栅投影的透镜设计。前者运用透红外冷反光镜 ,实现了对可见光的高反射 ,对红外光 80 %以上透射 ,使得输出光热量很少 ,降低了测量误差 ;后者采用基本对称结构 ,并对球差及畸变进行校正 ,达到要求 。 展开更多

关键词 光栅投影系统 冷光源 透镜 系统设计 光栅成像系统 光学测量 三维轮廓测量

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电气化铁路接触线高度和拉出值的测试 被引量：4

14

作者 徐昌杰 董威 潘永强 《电气化铁道》 2002年第1期10-11,共2页

本文提出一种测量电气化铁路接触线高度和拉出值的光学测量方法。这种测量方法简便易行 ,并有较高的精度。特别是无需与高压架空接触线接触便可测得数据 ,而且具有安全、快捷、降低劳动强度等优点 。

关键词 电气化铁路 接触线 拉出值 光学测量方法 高度

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带电粒子在磁场中运动的模拟 被引量：3

15

作者 蔡长龙 杨东升 陈彤 《西安工业学院学报》 2001年第1期57-61,共5页

高速运动物体的飞行参数的测量如 :坐标测量着靶位置、偏航及飞行姿态等是弹箭类常规武器试验的关键项目 .作者从CCD原理出发 ,通过高速数据采集 ,计算机图像处理 ,用扫描CCD相机对上述参数的测量方法进行探索和研究 .试验证明 。

关键词 脉冲多弧 离子源 电磁场 离子镀 CCD 运动模拟

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系统阻尼对冲击法测量磁场的影响 被引量：2

16

作者 董威 周仁魁 《现代测量与实验室管理》 2003年第4期18-20,共3页

本文分析了系统阻尼对冲击常数测量的影响,指出通过测量冲击常数的相对误差,选择合适的系统阻尼,是提高系统测量精度的有效方法。

关键词 系统阻尼 冲击法 磁场测量 影响 相对误差

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霍尔无栅离子源的离子束性能测试 被引量：1

17

作者 秦君军 朱昌 +2 位作者 潘永强 陈智利 杭凌侠 《西安工业学院学报》 2002年第4期297-299,共3页

介绍了一种新型离子源———霍尔无栅离子源 ,并论述了其工作原理 .这种源不仅具有大束流、低能量和大辐照面积等优点 ,而且克服了现有的有栅离子源的技术局限性 .实验结果证明 ,霍尔无栅离子源的离子流分布均匀性较好 ,离子束能量在 30... 介绍了一种新型离子源———霍尔无栅离子源 ,并论述了其工作原理 .这种源不仅具有大束流、低能量和大辐照面积等优点 ,而且克服了现有的有栅离子源的技术局限性 .实验结果证明 ,霍尔无栅离子源的离子流分布均匀性较好 ,离子束能量在 30～ 12 展开更多

关键词 测试 霍尔无栅离子源 离子束性能 工作原理 工业镀膜 离子束辅助蒸发

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Ti-Ni合金上镀制类金刚石薄膜研究 被引量：2

18

作者 吴玲玲 徐昌杰 +1 位作者 蔡长龙 严一心 《西安工业学院学报》 2003年第1期61-65,共5页

　利用脉冲真空电弧离子镀技术在Ti＿Ni形状记忆合金上成功地镀制了类金刚石薄膜,测试了膜层的电阻率,进行了Raman散射和扫描电镜(SEM)分析,并对两种工艺方法的优劣进行了比较.

关键词 TI-NI合金 类金刚石薄膜 脉冲电弧

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一种通用的单片机智能化标度变换装置 被引量：1

19

作者 高爱华 陈彤 +1 位作者 雷鸣 陈智利 《西安工业学院学报》 2001年第3期226-228,共3页

研制了一种通用的单片机智能化标度变换装置 .用此装置配以不同的传感器测量电路可以进行多种参量的测量及控制 .文中介绍了装置的原理、硬件及软件 .

关键词 单片机系统 标度变换 数据采集 反馈控制 智能化测量控制仪表

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离子源的溅射特性及其对ZnS薄膜折射率的影响 被引量：2

20

作者 徐均琪 刘鹤玲 +1 位作者 蔡长龙 杭凌侠 《西安工业学院学报》 2002年第2期112-115,共4页

在离子束辅助镀膜工艺中 ,离子源工作参数无疑是影响薄膜质量的关键因素 .本文对宽束冷阴极离子源溅射特性进行了研究 ,给出了离子源引出电压与溅射速率的关系 .

关键词 宽束冷阴极离子源 ZNS薄膜 溅射速率 硫化锌薄膜 离子源 溅射特性 折射率

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