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微机械及微细加工技术 被引量：14
1
作者 苑伟政 李晓莹 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第3期503-508,共6页
介绍了微机械的概念，微机械的研究内容以及目前微机械产品的发展现状，特别着重介绍了目前微机械微细加工的方法。
关键词 微机械 微细加工
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