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题名全息光栅干涉条纹三维锁定系统的设计
被引量：3
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作者
钱国林
吴建宏
李朝明
成珏飞
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机构
苏州大学光电科学与工程学院
苏州市职业大学电子信息工程学院江苏省光伏发电工程技术研究开发中心
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期57-63,共7页
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基金
国家自然科学基金(61178046)
江苏省高校自然科学研究重大项目(11KJA14001)
+1 种基金
苏州市职业大学青蓝工程(3170102)
苏州市职业大学光伏材料与器件创新团队(201804000061)
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文摘
全息曝光系统中干涉条纹的稳定性直接影响光栅掩模质量。研究了参考干涉条纹的特性,提出一种光栅相位、倾斜度和周期的检测方法。为提高光栅曝光系统的稳定性,设计了一套全息光栅干涉条纹三维锁定系统。利用摄像机对参考干涉条纹进行检测,利用微电机和压电陶瓷对光路进行微调,可实现对光栅相位、倾斜度和周期的有效控制。实验结果表明,三维锁定系统可有效提高干涉条纹的稳定性,缩短光栅曝光前的静台稳定时间,提高光栅曝光对比度,可为大口径全息光栅曝光质量的提高提供技术支持。
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关键词
光栅
干涉条纹
曝光对比度
条纹锁定
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Keywords
gratings
interference fringe
exposure contrast
fringe locking
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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题名全息光栅并列拼接法的研究
被引量：2
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作者
钱国林
吴建宏
李朝明
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机构
苏州市职业大学电子信息工程学院&江苏省光伏发电工程技术研究开发中心
苏州大学光电科学与工程学院
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第21期114-122,共9页
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基金
国家自然科学基金(61178046)
苏州市职业大学青蓝工程(3170102)
苏州市职业大学光伏材料与器件创新团队(201804000061)。
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文摘
衍射波面像差及其远场衍射光场分布是大口径脉冲压缩光栅质量的重要体现。为进一步优化拼接光栅的远场光斑能量分布,提出了一种光栅并列拼接法。模拟了各种不同像差情况下的光栅并列拼接和光栅对准拼接案例,计算了对应波面的远场衍射光斑能量分布。统计结果表明,光栅并列拼接波面峰谷(PV)值比对准拼接波面PV值小。但光栅远场衍射光斑能量分布情况与像差种类、拼接方式均有关系。进行了全息光栅曝光拼接实验,结果表明光栅并列拼接法不仅可以降低光栅-1级衍射波面像差的PV值,也能够提高远场衍射光斑能量集中度,为全息拼接光栅提供了一种新的方法。
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关键词
衍射
光栅
全息
拼接光栅
干涉条纹
波像差
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Keywords
diffraction
grating
holography
splicing grating
interference fringe
wavefront aberration
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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