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用超声喷雾热解新方法生长ZnO膜
1
作者
P.Wu
Y-M.Gao
陈运祥
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1991年第2期87-90,共4页
采用超声喷雾热解法已在各种基片上长出了ZnO膜。通过X射线、光学及电气测量结果表明了所制备的ZnO膜的特征。发现它们为单一物相、均质且厚度均匀。这些膜的质量与用更复杂的方法制备的膜的质量相当。ZnO膜适合于许多半导体应用。
关键词
ZnO膜
生长
超声喷雾
热解法
下载PDF
职称材料
题名
用超声喷雾热解新方法生长ZnO膜
1
作者
P.Wu
Y-M.Gao
陈运祥
机构
美
.
布朗
大学
化学系
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1991年第2期87-90,共4页
文摘
采用超声喷雾热解法已在各种基片上长出了ZnO膜。通过X射线、光学及电气测量结果表明了所制备的ZnO膜的特征。发现它们为单一物相、均质且厚度均匀。这些膜的质量与用更复杂的方法制备的膜的质量相当。ZnO膜适合于许多半导体应用。
关键词
ZnO膜
生长
超声喷雾
热解法
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用超声喷雾热解新方法生长ZnO膜
P.Wu
Y-M.Gao
陈运祥
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1991
0
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