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题名氮化铝薄膜的光学性能
被引量：11
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作者
颜国君
陈光德
邱复生
Zhaoyan Fan
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机构
西安交通大学理学院应用物理系
美国西北大学电子与计算机工程系
美国堪萨斯州立大学物理系
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期221-223,共3页
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文摘
分别使用X衍射仪和紫外(190nm^800nm)分光光度仪,测量了用分子束外延法生长在SiC(001)基底面上的AIN薄膜的X衍射、透射谱和不同温度下的吸收谱.X衍射表明实验所用的AIN薄膜在c-轴存在应变和应力,该应变和应力主要是由于AIN的晶格常量与基底SiC的晶格常量不匹配所致.透射谱表明AIN薄膜的禁带宽度大约为6.2eV;而其对应的吸收谱在6.2eV处存在一个明显的台阶,此台阶被认为是AIN薄膜中的带边自由激子吸收所产生,忽略激子的结合能(与禁带宽度相比),则该值就对应为AIN的禁带宽度.而其对应的不同温度下(10k^293k)的吸收谱的谱线的形状和位置无明显的变化表明温度对AIN薄膜的禁带宽度亦无明显的影响,这主要是由于在AIN薄膜中存在着应力所致.
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关键词
AIN薄膜
透射谱
吸收谱
禁带带宽
自由激子
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Keywords
AIN film
Transmittance spectrum
Absorption spectrum
The direct band-gap energy
Free exciton
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分类号
O472
[理学—半导体物理]
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题名氮化铝薄膜中的二次谐波产生
被引量：2
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作者
颜国君
陈光德
竹有章
邱复生
范朝阳
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机构
西安交通大学理学院应用物理系
美国西北大学电子与计算机工程系
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第9期1245-1248,共4页
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文摘
利用X射线衍射技术对用直流反应磁控溅射技术沉积在蓝宝石基底 (10 0 )晶面上的氮化铝 (AlN)薄膜进行了晶体结构分析 ,对X射线衍射图样的分析结果表明 :用该法沉积在蓝宝石基底 (10 0 )晶面上的AlN薄膜为单晶膜 ;利用脉宽为 10ns、重复频率 10Hz、最大平均功率为 2 0W、单脉冲的最大能量为 2J的Nd∶YAG脉冲激光器对其进行了二次谐波产生的实验研究 ,对实验结果进行分析表明 :沉积在蓝宝石基底 (10 0 )晶面上的AlN薄膜能在一个很宽的入射角度范围存在有效二次谐波的输出 ;且输出的二次谐波功率相对于AlN薄膜的表面法线成对称分布 ,这表明该AlN薄膜的表面法线方向即为AlN的光轴方向。
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关键词
非线性光学
AIN薄膜
二次谐波
相位匹配
相位失配角宽度
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Keywords
nonlinear optics
AIN film
second harmonic wave
phase matching
width of phase dismatching angle
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分类号
O437
[机械工程—光学工程]
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