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一种测量纳米材料高频特性的新方法
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作者 王艳新 杨勇 +2 位作者 裴东斐 赵昕 许胜勇 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2009年第S1期10-14,共5页
本文介绍一种使用同轴线制备简易高频测试平台、运用射频设备测量纳米尺度样品高频性能的方法。使用该方法,窄脉冲射频信号在传输线中的延时测量精度达到10皮秒左右,发现了铜芯同轴传输线与多壁碳管同轴传输线的传输特性的区别。这一方... 本文介绍一种使用同轴线制备简易高频测试平台、运用射频设备测量纳米尺度样品高频性能的方法。使用该方法,窄脉冲射频信号在传输线中的延时测量精度达到10皮秒左右,发现了铜芯同轴传输线与多壁碳管同轴传输线的传输特性的区别。这一方法有可能推广到测试其他小尺度样品高频特性的研究中。 展开更多
关键词 射频 高频特性 同轴线
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电子束纳米焊接与纳米切割 被引量:4
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作者 许胜勇 《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第6期563-569,共7页
对小到1nm大到100nm的"纳米尺度",目前并没有成熟的原位物理加工技术。我们演示高强度电子束技术在纳米尺度上应用于原位物理加工的潜力,将高亮度场发射透射电子显微镜的电子束汇聚到直径1nm左右,可得到强度为106A/cm2量级的... 对小到1nm大到100nm的"纳米尺度",目前并没有成熟的原位物理加工技术。我们演示高强度电子束技术在纳米尺度上应用于原位物理加工的潜力,将高亮度场发射透射电子显微镜的电子束汇聚到直径1nm左右,可得到强度为106A/cm2量级的电子束。这样的电子束可被用来在直径几十纳米的单根金属或硅纳米线上实现结构修饰,切割出小孔、窄桥及缝隙等各类纳米尺度的图案结构。强度稍弱的电子束则可被用来实现在金属纳米线之间,或者金属纳米线与硅纳米线之间的焊接,也可被用于去除纳米线表面的氧化层。这些物理加工机制涉及高能电子穿越固体时各类非弹性散射造成的加热、非晶化、溅射、等离子气化等非线性效应。作为一项无污染且作用范围非常局域化的原位技术,它可直接应用于纳米结和纳米器件的修饰与制备。 展开更多
关键词 纳米焊接 纳米切割 高强度电子束
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石墨烯的量子电容 被引量:1
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作者 邱晨光 徐慧龙 +1 位作者 张志勇 彭练矛 《物理》 CAS 北大核心 2012年第12期789-795,共7页
量子电容在半导体纳米材料和器件中是一个日趋重要的参数,测量和提取石墨烯的量子电容,不仅可以得到石墨烯的重要物理性质,而且对石墨烯晶体管的尺寸缩减行为具有重要指导意义.文章中采用简单工艺在石墨烯上制备出均匀超薄的高质量Y2O3... 量子电容在半导体纳米材料和器件中是一个日趋重要的参数,测量和提取石墨烯的量子电容,不仅可以得到石墨烯的重要物理性质,而且对石墨烯晶体管的尺寸缩减行为具有重要指导意义.文章中采用简单工艺在石墨烯上制备出均匀超薄的高质量Y2O3栅介质,其等效栅氧厚度(EOT)可缩减至1.5nm,通过控制栅介质厚度的变化,精确测量并提取了石墨烯量子电容,其电容值在远离狄拉克点时与理论计算相符合;在此基础上,文章作者提出了基于电势涨落的量子电容微观模型,通过采用单一参数——电势涨落δV,可以定量地描述Dirac点附近的量子电容行为,从而在全能量范围内实现对石墨烯量子电容测量值的完美拟合,并得到了石墨烯的相关重要参数.进而,作者从量子电容的角度,探索了石墨烯晶体管的性能极限,并比较其相对于Ⅲ-Ⅴ族场效应晶体管的潜在优势. 展开更多
关键词 石墨烯 量子电容 顶栅场效应晶体管 纵向缩减 Y2O3
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