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射频等离子体中绝缘基片上自偏压的研究 被引量：2
1
作者 潘永强 Y Yin 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期185-189,共5页
在薄膜沉积和离子束刻蚀技术中,通常要给绝缘基片加上一个射频或脉冲电极,以便在绝缘基片上形成一个自偏压来控制轰击到绝缘基片表面的离子能量。由于绝缘基片上的自偏压不便于测量,在研究中,大多采用射频电极上的偏压来代替绝缘基片表... 在薄膜沉积和离子束刻蚀技术中,通常要给绝缘基片加上一个射频或脉冲电极,以便在绝缘基片上形成一个自偏压来控制轰击到绝缘基片表面的离子能量。由于绝缘基片上的自偏压不便于测量,在研究中,大多采用射频电极上的偏压来代替绝缘基片表面的实际自偏压。本文在研究中发现,绝缘基片表面的自偏压与射频输入电极上的自偏压有一定的差别,并且随着射频输入电极结构的变化和绝缘基片面积的变化,这个差异将发生意想不到的变化,并对绝缘基片厚度对自偏压的影响进行了进一步的研究和分析。这一研究对射频等离子体自偏压控制离子能量等成膜工艺具有重要的意义。 展开更多
关键词 射频等离子体 绝缘基片 自偏压 电极结构
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直流磁控溅射Cr/Cr_2O_3金属陶瓷选择吸收薄膜的研究 被引量：6
2
作者 潘永强 Y．Yin 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期517-521,共5页
光谱选择吸收薄膜的制备是太阳能集热器高效吸收太阳能的关键技术。本文首先研究了磁控溅射Cr/Cr2O3金属陶瓷选择吸收膜中,氧气流量、溅射靶电流等基本参数对靶电压的影响,然后对不同氧气流量和靶电流条件下制备的Cr/Cr2O3金属陶瓷选择... 光谱选择吸收薄膜的制备是太阳能集热器高效吸收太阳能的关键技术。本文首先研究了磁控溅射Cr/Cr2O3金属陶瓷选择吸收膜中,氧气流量、溅射靶电流等基本参数对靶电压的影响,然后对不同氧气流量和靶电流条件下制备的Cr/Cr2O3金属陶瓷选择吸收膜的光学常数采用椭偏仪进行了研究,得到了不同工艺条件下的Cr/Cr2O3金属陶瓷薄膜的光学常数,最后经过膜系设计和试验镀制,制备出了室温下吸收率α≥95%、发射率ε≤5%的高性能太阳能选择吸收膜。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 选择吸收 金属陶瓷 薄膜
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论基础研究
3
作者 H.布朗 李醒民 《国外科技政策与管理》 1989年第6期1-6,共6页
一、为什么要支持基础研究人们通常说,'基础'研究和'应用'研究的真正差别,只不过是时间尺度问题,大多数研究不管多么深奥,最终都将被应用。但越是'基础的'研究,要证明其有用,所花费的时间也就越长。如乔治·... 一、为什么要支持基础研究人们通常说,'基础'研究和'应用'研究的真正差别,只不过是时间尺度问题,大多数研究不管多么深奥,最终都将被应用。但越是'基础的'研究,要证明其有用,所花费的时间也就越长。如乔治·黎曼和威廉·罗恩·哈密顿在19世纪所作的深奥的数学研究,不得不等待大半个世纪,才在现代物理学中找到了它的用场。距我们时代不远,卢瑟福勋爵曾大声宣称,他在本世纪20年代关于原子结构的工作毫无用处。 展开更多
关键词 基础研究
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癌生长是寄主中的过寄生现象(英文)
4
作者 Molnar Joseph 罗辽复 +5 位作者 Gyemant Nora Mucsi Ilona Vezendi Klára Ocsovszki Imre Sz kefalvi-Nagy Elisabeth Thornton BarryS 《内蒙古大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期44-57,共14页
报道了人乳腺癌细胞MCF7和正常细胞MCF10,MRC5混合培养实验,分析了实验结果.结果表明:在营养物充足条件下癌细胞和正常细胞系寄生共存关系,而在饥饿条件下癌细胞和正常细胞是过寄生-捕食者和食饵的关系.讨论了此结果的生物医学含义.
关键词 癌寄生性 细胞混合培养 捕食者-食铒关系
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