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题名半导体工业硅材料加工用金刚石工具的发展
被引量：7
- 1
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作者
姜荣超
雷雨
李超群
刘谷成
周晓丹
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机构
湖南新途金刚石工具有限公司
湖南省金刚石勘查研究院
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2008年第1期73-81,共9页
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文摘
随着我国半导体工业集成电路(IC)业的快速发展,硅材料加工用金刚石工具具有巨大的潜在市场。作者简介了半导体加工中使用的各种金刚石工具:其中包括:单晶硅晶锭的裁切与整圆、晶圆线切割、倒圆磨边、磨削、CMP修整器、背面减薄与划片及其最新发展。详细介绍了各种不同类型CMP修整器及其完善与发展。建议应积极研发我国半导体工业硅材料加工用金刚石工具。
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关键词
半导体
集成电路
精密金刚石工具
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Keywords
semiconductor,integrated circuit（IC）,precision diamond tools
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分类号
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
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题名国外超硬材料工具的最新应用与进展(上)
被引量：5
- 2
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作者
姜荣超
雷雨
李超群
周晓丹
刘谷成
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机构
湖南新途金刚石工具有限公司
湖南省金刚石勘查研究院
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出处
《超硬材料工程》
CAS
2008年第4期25-29,共5页
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文摘
为促进我国超硬材料工具的发展,对国外超硬材料工具的最新应用与发展进行了调查与分析,其中包括:金刚石与刀具的镀覆与应用,代钴预合金粉末的研制,金刚石均匀有序排列在刀头中的应用与进展,板条式CO2激光器激光焊接金刚石工具的快速发展,金刚石绳锯的创新与应用,金刚石与cBN单层钎焊在切削与磨削中的应用,环保型精密自动控制电镀工艺与装备的发展,以及金刚石工具在半导体工业中的应用。
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关键词
国外超硬材料
工具最新应用
综述
金刚石
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Keywords
superhard abrasives in overseas
the newest application of tools
review
diamond
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分类号
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
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题名国外超硬材料工具的最新应用与进展(下)
被引量：2
- 3
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作者
姜荣超
雷雨
李超群
周晓丹
刘谷成
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机构
湖南新途金刚石工具有限公司
湖南省金刚石勘查研究院
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出处
《超硬材料工程》
CAS
2008年第5期42-48,共7页
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文摘
为促进我国超硬材料工具的发展,对国外超硬材料工具的最新应用与发展进行了调查与分析,其中包括:金刚石与刀具的镀覆与应用,代钴预合金粉末的研制,金刚石均匀有序排列在刀头中的应用与进展,板条式CO2激光器激光焊接金刚石工具的快速发展,金刚石绳锯的创新与应用,金刚石与cBN单层钎焊在切削与磨削中的应用,环保型精密自动控制电镀工艺与装备的发展,以及金刚石工具在半导体工业中的应用。
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关键词
国外超硬材料
工具最新应用
综述
金刚石
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Keywords
superhard abrasives in overseas
the newest application of tools
review
diamond
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分类号
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
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