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题名厚二氧化硅光波导薄膜制备及其特性分析
被引量：2
- 1
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作者
娄丽芳
盛钟延
姚奎鸿
肖丙刚
何赛灵
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机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心
浙江工程学院材料工程中心
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期24-28,共5页
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基金
浙江省科技计划重大项目 (0 0 110 10 2 7)
高等学校重点实验室访问学者基金资助课题
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文摘
以硅烷和氧化二氮作为反应气体 ,采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)技术 ,不使用掺杂 ,在单晶硅衬底上制备了用于平面光波导的二氧化硅薄膜。研究了薄膜折射率和淀积速率与工艺参量之间的关系 ,通过棱镜耦合仪、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜等测试手段 ,分析了薄膜的结构和光学特性。结果表明 ,实验能快速生长厚二氧化硅薄膜 ,薄膜表面平整 ,颗粒度均匀 ,同时薄膜具有折射率精确可控和红外透射性能好的特点 ,非常适合制作光波导器件。
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关键词
波导光学
平面光波导
等离子体增强化学气相沉积
二氧化硅薄膜
PECVD
折射率
棱镜耦合仪
傅里叶变换红外光谱
薄膜结构
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Keywords
guided wave and fiber optics
planar optical waveguide
PECVD
silica film
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分类号
TN252
[电子电信—物理电子学]
O484.1
[理学—固体物理]
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题名亚稳态富硅烷—氮—氧混合气制备及其着火特性
被引量：1
- 2
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作者
余京松
王勇
姚奎鸿
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机构
浙江大学功能材料研究室
浙江工程学院材料工程中心
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出处
《低温与特气》
CAS
2002年第4期35-37,共3页
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文摘
采用氮气预稀释方法制备了亚稳态的富硅烷—氮—氧混合体系 ,对这种混合气的稳定性和着火特性进行了实验 ,表明氮气预稀释对抑制硅烷着火有明显效果 ,所制备的亚稳态混合物有较高的稳定性 ,但是释放时的阻流会引发爆炸 ,只有在总压力低于 0 .5 MPa,氮气含量高于 86 % V/V时才能抑制爆炸的发生。
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关键词
亚稳态富硅烷
混合气
制备
着火特性
爆炸
氮气
氧气
稳定性
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Keywords
silane
ignition
explosion
metastable system
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分类号
TQ117
[化学工程—无机化工]
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题名ZrO_2包裹Si_3N_4超细复合粉体的制备
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作者
刘进利
王勇
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机构
浙江工程学院材料工程中心
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出处
《浙江工程学院学报》
2004年第3期174-177,共4页
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文摘
采用非均相沉淀包裹技术,在锆无机盐溶液中制备出ZrO2前驱体包裹纳米Si3N4球状颗粒的超细复合粉体。用扫描电子显微镜(SEM)对其形貌进行表征,发现纳米Si3N4颗粒表面均匀地包裹了一层ZrO2前驱体。经过800℃煅烧之后,XRD图谱表明:ZrO2前驱体转变为立方ZrO2。将煅烧后的包裹粉体超声波分散处理以后,用SEM及能量发射能谱(EDS)研究发现:ZrO2均匀分布在Si3N4颗粒表面。
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关键词
ZRO2
SI3N4
超细复合粉体
制备
非均相沉淀包裹技术
纳米材料
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Keywords
Coating
ZrO_2
Si_3N_4
Heterogeneous precipitation
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分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
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