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氧化锆陶瓷平面零件超精密研磨实验的研究 被引量：12
1
作者 纪宏波 彭岩 +2 位作者 周芬芬 郭伟刚 吕冰海 《机电工程》 CAS 2013年第9期1059-1062,1105,共5页
针对氧化锆陶瓷平面零件的超光滑表面加工问题,将两种超精密研磨工艺应用到氧化锆零件加工中。研究了研磨液和磨料粒径对零件表面粗糙度的影响,分析了不同加工阶段的材料去除机理,同时发现工件表面孔隙的致密性会降低氧化锆零件的可加... 针对氧化锆陶瓷平面零件的超光滑表面加工问题,将两种超精密研磨工艺应用到氧化锆零件加工中。研究了研磨液和磨料粒径对零件表面粗糙度的影响,分析了不同加工阶段的材料去除机理,同时发现工件表面孔隙的致密性会降低氧化锆零件的可加工性能,并采用了致密性更好的氧化锆材料在使用相同工艺情况下进行了实验对比。研究结果表明,采用金刚石油膏研磨加工得到了表面粗糙度为12.9 nm的超光滑表面,在"采用Al2O3研磨液,并使用SiO2作为抛光工序"的条件下,得到了表面粗糙度为6.55 nm的超光滑表面,并且在选用致密性更好材料进行加工后,得到了表面粗糙度为4.72 nm的超光滑表面。 展开更多
关键词 氧化锆陶瓷 超精密研磨 表面演变 致密性
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改进高通滤波的圆柱滚子缺陷图像非线性反锐化掩模 被引量：3
2
作者 钟美鹏 袁巨龙 +1 位作者 姚蔚峰 吴喆 《轴承》 北大核心 2018年第4期51-54,共4页
针对现有反锐化掩模方法在滚子缺陷区域增强中存在的问题,通过在非线性反锐化掩模方法中引入改进的高通滤波模板,构建了一种新的反锐化掩模方法。以滚子周面缺陷图像为例,对线性、非线性反锐化掩模以及本文方法进行了图像增强及缺陷区... 针对现有反锐化掩模方法在滚子缺陷区域增强中存在的问题,通过在非线性反锐化掩模方法中引入改进的高通滤波模板,构建了一种新的反锐化掩模方法。以滚子周面缺陷图像为例,对线性、非线性反锐化掩模以及本文方法进行了图像增强及缺陷区域提取效果对比试验,并以分布分离指标DSM对图像增强效果进行量化评价。试验结果表明:使用基于改进高通滤波模板的非线性反锐化掩模方法可以有效改善缺陷区域的增强效果,与线性及非线性反锐化掩模方法相比,该方法增强后缺陷图像的DSM值最高,缺陷提取区域大小最接近真实缺陷。 展开更多
关键词 圆柱滚子轴承 滚子 缺陷 图像识别 反锐化掩模 高通滤波
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基于固结磨粒的单晶蓝宝石自旋转磨削加工方法 被引量：3
3
作者 吴柯 陆新明 +2 位作者 MEHMOOD Awais 周立波 袁巨龙 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第16期2002-2007,2015,共7页
利用固结磨粒自旋转磨削加工方法,通过金刚石磨削和化学机械磨削实现了蓝宝石晶片的高效、高质量平坦化加工。采用不同磨粒粒径的金刚石砂轮实现了蓝宝石晶片较高的材料去除率或较好的表面质量。开发了高磨粒浓度Cr2O3砂轮,采用化学机... 利用固结磨粒自旋转磨削加工方法,通过金刚石磨削和化学机械磨削实现了蓝宝石晶片的高效、高质量平坦化加工。采用不同磨粒粒径的金刚石砂轮实现了蓝宝石晶片较高的材料去除率或较好的表面质量。开发了高磨粒浓度Cr2O3砂轮,采用化学机械磨削对金刚石磨削后的蓝宝石晶片进行平坦化加工。实验结果表明,化学机械磨削能够去除金刚石磨削的表面和亚表面缺陷,最终获得表面粗糙度Ra<1 nm、无/微损伤的蓝宝石晶片。通过理论分析单颗金刚石磨粒的磨削力,发现磨粒粒径是影响材料去除率和表面质量的主要影响因素。通过XPS分析证明了Cr2O3和蓝宝石之间的固相反应过程。 展开更多
关键词 金刚石磨削 化学机械磨削 表面质量 材料去除率
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基于双平面轨迹均匀法的高精度圆柱滚子加工方法研究
4
作者 钟美鹏 袁巨龙 +1 位作者 姚蔚峰 邓乾发 《高技术通讯》 EI CAS 北大核心 2018年第4期327-335,共9页
针对目前超精密圆柱滚子加工精度和一致性很难保证的问题,提出了利用行星式双平面研磨方式进行圆柱滚子的加工方法。同时对该方法的加工原理进行分析以及对保持架进行了模态仿真。在研究了圆柱滚子双平面加工运动轨迹基础上,发现靠近研... 针对目前超精密圆柱滚子加工精度和一致性很难保证的问题,提出了利用行星式双平面研磨方式进行圆柱滚子的加工方法。同时对该方法的加工原理进行分析以及对保持架进行了模态仿真。在研究了圆柱滚子双平面加工运动轨迹基础上,发现靠近研磨盘中心以及研磨盘边缘的轨迹线分布比较集中,而靠近研磨盘中间环带部分的轨迹线分布较为均匀。据此设计并加工了实验装置,采用基于双平面轨迹均匀方法进行超精研磨和抛光。实验研究表明,工件的圆度误差达到了0.295μm,批直径变动量达到了1μm,表面粗糙度Ra达到了0.054μm,圆柱滚子的表面质量可以达到镜面级别,微观加工纹路具有多向性。公差等级达到了国家标准0级要求。 展开更多
关键词 圆柱滚子 运动轨迹 轨迹均匀 超精研磨
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