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半导体碳化硅湿法腐蚀工艺研究 被引量：4
1
作者 张序清 罗昊 +3 位作者 李佳君 王蓉 杨德仁 皮孝东 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第2期333-343,共11页
碳化硅(SiC)具有禁带宽度大、电子饱和漂移速度高、击穿场强高、热导率高、化学稳定性好等优异特性,是制备高性能功率器件等半导体器件的理想材料。得益于工艺简单、操作便捷、设备要求低等优点,湿法腐蚀已作为晶体缺陷分析、表面改性... 碳化硅(SiC)具有禁带宽度大、电子饱和漂移速度高、击穿场强高、热导率高、化学稳定性好等优异特性,是制备高性能功率器件等半导体器件的理想材料。得益于工艺简单、操作便捷、设备要求低等优点,湿法腐蚀已作为晶体缺陷分析、表面改性的常规工艺手段,应用到了SiC晶体生长和加工中的质量检测以及SiC器件制造。根据腐蚀机制不同,湿法腐蚀可以分为电化学腐蚀和化学腐蚀。本文综述了不同湿法腐蚀工艺的腐蚀机理、腐蚀装置和应用领域,并展望了SiC湿法腐蚀工艺的发展前景。 展开更多
关键词 碳化硅 湿法腐蚀 电化学腐蚀 化学腐蚀 晶体缺陷 晶体表面
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低温大载荷冲击下纯铜的微观组织演变 被引量：4
2
作者 王琪明 刘中亭 +1 位作者 王正山 宫海龙 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期843-846 817,817,共5页
本文提出了一种低温大载荷冲击制备块体超细晶纯铜材料的新方法。通过金相、透射电镜和显微硬度测试,研究了粗晶纯铜低温大载荷冲击变形后的微观组织演变以及退火处理对其微观组织的影响。结果表明,粗晶纯铜经低温大载荷冲击后晶粒得到... 本文提出了一种低温大载荷冲击制备块体超细晶纯铜材料的新方法。通过金相、透射电镜和显微硬度测试,研究了粗晶纯铜低温大载荷冲击变形后的微观组织演变以及退火处理对其微观组织的影响。结果表明,粗晶纯铜经低温大载荷冲击后晶粒得到明显细化。应变量为2.21时,材料内部出现高密度位错,晶粒在横截面上为等轴状,尺寸150~450nm;纵截面上为板条状,宽度30~220nm。粗晶纯铜低温大载荷冲击晶粒细化机制主要包括位错胞演变、动态再结晶和机械孪晶细化。经190℃退火60min后,材料内部高密度位错消失,晶粒在横截面上仍为等轴状,尺寸200~450nm;纵截面上仍为板条状,宽度70~100nm。 展开更多
关键词 低温 大载荷冲击 纯铜 超细晶 晶粒细化
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光电神经突触器件研究进展 被引量：3
3
作者 李雅瑶 王越 +1 位作者 杨德仁 皮孝东 《中国科学：信息科学》 CSCD 北大核心 2020年第6期892-912,共21页
神经形态计算(类脑计算)以其自适应学习、高并行计算和低功耗等优点,被认为是最有希望解决冯·诺依曼(von Neumann)瓶颈的方法之一.实现神经形态计算的重要前提是开发能模拟生物突触行为的神经突触器件.电学神经突触器件是首先发展... 神经形态计算(类脑计算)以其自适应学习、高并行计算和低功耗等优点,被认为是最有希望解决冯·诺依曼(von Neumann)瓶颈的方法之一.实现神经形态计算的重要前提是开发能模拟生物突触行为的神经突触器件.电学神经突触器件是首先发展起来的神经突触器件,但是它们在统筹考虑带宽、连接、密度等因素下的整体优化面临着很大的挑战.近年来,把光引入神经突触器件,研制光电神经突触器件,为神经突触器件的发展带来了新机遇.对神经突触器件而言,光不仅具备电难以实现的高带宽、低串扰、低功率和无延迟等特性,还可以直接模拟视觉等至关重要的神经行为.光电神经突触器件作为基于光电集成的人工神经网络的基础,有望有力促进高性能和低功耗的神经形态计算的发展.本文主要介绍了光电神经突触器件的基本性能和类别,展示了已经实现的光电神经突触器件的模拟应用,并展望了今后光电神经突触器件的发展. 展开更多
关键词 光电神经突触器件 突触可塑性 能耗 氧空位离化与去离化 载流子俘获与释放
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含有YAG∶Ce^(3+)和CASN∶Eu^(2+)的LED照明多相荧光玻璃陶瓷
4
作者 何梦婷 乔旭升 樊先平 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期909-914,939,共7页
采用热压烧结法制备得到了一种掺有YAG∶Ce^(3+)黄色荧光粉和CASN∶Eu^(2+)红色荧光粉的烧结玻璃陶瓷。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和荧光光谱仪对比研究了热压烧结后的烧结玻璃陶瓷和烧结前荧光粉的晶体结构和微观形貌方面的变化... 采用热压烧结法制备得到了一种掺有YAG∶Ce^(3+)黄色荧光粉和CASN∶Eu^(2+)红色荧光粉的烧结玻璃陶瓷。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和荧光光谱仪对比研究了热压烧结后的烧结玻璃陶瓷和烧结前荧光粉的晶体结构和微观形貌方面的变化,结果显示,荧光相在玻璃基质中没有发生聚集现象,且不会被玻璃基质侵蚀,能保持其发光性能。光谱研究和光电参数分析显示,在YAG∶Ce^(3+)黄色荧光粉中引入CASN∶Eu^(2+)红色荧光粉,可以有效改善其发光性能,其中显色指数最高为90,色温为4787 K,明显改善了商用LED照明器件色温高,显色指数低等问题。 展开更多
关键词 发光二极管 玻璃陶瓷 热压烧结法 荧光粉
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