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题名表面等离子共振氢敏传感器理论和模拟
被引量：2
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作者
胡建东
文泓桥
林志立
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机构
浙江大学国家现代光学仪器重点实验室光及电磁波研究中心
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出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期85-88,共4页
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基金
浙江省科技计划重大项目经费资助(001101027)
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文摘
提出了一种钯(Pd)膜氢敏感表面等离子共振传感器结构,该传感器以镀在棱镜端面的 Pd作为氢敏感膜。Pd 膜吸氢以后发生化学反应,生成的 PdHx使折射率发生变化,同时,它作为金属膜产生 SPW,当折射率变化时又在金属和介质表面产生表面等离子共振。利用 Fortran 语言程序进行了表面等离子共振氢敏传感器的 Pd 膜厚度和传感器灵敏度数值模拟。氢气浓度的变化引起折射率的变化,数值模拟表明,表面等离子共振氢敏传感器的灵敏度与 Pd 膜厚度有关,当 Pd膜的厚度在 10-30nm 时,氢气浓度在 1%-10%范围内具有较高的灵敏度。这种传感器结构将用于监测氢气作燃料的商用和军用机车的氢气泄漏。
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关键词
氢传感器
表面等离子共振
数值模拟
PD膜
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Keywords
Hydrogen sensor
Surface plasma resonance
Numerical simulation
Pd thin film
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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