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基于NS-DSMC耦合方法与Langmuir探针诊断的射频等离子体氧化过程中等离子体分布
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作者 刘万锁 王志宝 +1 位作者 王庆 蔺增 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期988-993,共6页
采用Navier-Stokes方程和直接模拟蒙特卡罗方法相结合的方式模拟了反应腔内的气体流动,并结合Langmuir探针检测设备分析了气体流速与等离子体密度的关系。结果表明,流体均匀性对等离子体的均匀性有显著影响。在6.5 Pa的压力下,等离子体... 采用Navier-Stokes方程和直接模拟蒙特卡罗方法相结合的方式模拟了反应腔内的气体流动,并结合Langmuir探针检测设备分析了气体流速与等离子体密度的关系。结果表明,流体均匀性对等离子体的均匀性有显著影响。在6.5 Pa的压力下,等离子体密度和流速呈正相关,与在大气压下的实验结果一致,说明提高流体均匀性可以提高等离子体的氧化均匀性。 展开更多
关键词 等离子体氧化 等离子体诊断 NS-DSMC方法 LANGMUIR探针 等离子体均匀性
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