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基于PLC的原子层沉积设备系统设计
1
作者 汤晨宇 刘磊 +2 位作者 曾广根 王志亮 张洪国 《机电工程技术》 2024年第1期295-299,共5页
原子层沉积技术是一种优异的真空镀膜技术,广泛应用于泛半导体领域,原子层沉积设备是实现原子层沉积技术的一种工艺系统。基于可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller,PLC)和人机界面(Human Machine Interface,HMI)设计了原子... 原子层沉积技术是一种优异的真空镀膜技术,广泛应用于泛半导体领域,原子层沉积设备是实现原子层沉积技术的一种工艺系统。基于可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller,PLC)和人机界面(Human Machine Interface,HMI)设计了原子层沉积设备系统,通过分析原子层沉积技术的原理和工艺来设计原子层沉积设备的运行流程。系统设计过程中综合考虑系统的整体性能、成本、国产化等因素,最终确定以DVP-ES2系列PLC为控制器,以TPC1570Gn触摸屏为人机界面的控制设计方案。最后该系统以原子层沉积设备常用的单晶硅表面生长氧化铝薄膜实验作测试,通过椭偏仪来测量单晶硅表面氧化铝薄膜生长的厚度,计算每个周期氧化铝薄膜生长的厚度为结果,通过多组实验,该系统每周期生长厚度约0.125 nm,接近理论值0.12 nm,表明该控制系统达到了设计要求。 展开更多
关键词 原子层沉积 PLC HMI 控制系统
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碳基复合导电浆料改性研究
2
作者 郑雨洁 赵倩俨 +4 位作者 郝雅宁 孙珏寒 唐俊强 张洪国 曾广根 《科技创新与应用》 2023年第1期77-80,共4页
导电浆料目前在电子产品中得到广泛的应用,是电子信息产业发展不可或缺的关键辅材。该文针对国内硅胶按键用导电浆料的研发需求,设计一种碳基掺金属/非金属粉末的导电浆料,以炭黑掺银粉作为主要的导电相,煤油作为溶剂,聚乙烯吡咯烷酮作... 导电浆料目前在电子产品中得到广泛的应用,是电子信息产业发展不可或缺的关键辅材。该文针对国内硅胶按键用导电浆料的研发需求,设计一种碳基掺金属/非金属粉末的导电浆料,以炭黑掺银粉作为主要的导电相,煤油作为溶剂,聚乙烯吡咯烷酮作为保护剂,二氧化硅作为填充改性剂,控制不同组分的含量和配比,得到碳基复合导电浆料。采用光学显微镜、四探针测试仪、扫描电镜、EDS、洛氏硬度计、百格刀等手段对固化后的导电浆料进行光学、电学、形貌、组分、强度及附着力等性质测试,分析金属导电相和无机非金属填充相的加入对导电浆料性能的影响。综合各种因素,最终得到改进附着力(4B等级)、导电性(6Ω·cm)和机械强度(185 Hv0.5),适用于硅胶按键的低成本碳基复合导电浆料,其基体/银粉/二氧化硅比例约为100∶5∶1。 展开更多
关键词 SiO2粉末 纳米银 碳基导电浆料 改性特征 特性
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CdTe太阳电池激光诱导微区光谱响应研究
3
作者 郑雨洁 周彪 +5 位作者 杨秀涛 张静全 王文武 张王志 张洪国 曾广根 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期87-91,共5页
为了反映器件几何尺度上各个区域的性能分布,采用波长为852 nm且可调聚焦面积的激光束作用在CdTe薄膜太阳电池的P-N结微区表面,产生定域诱导光致电流响应,并通过设置样品台的步进方式,得到了所测器件在几何面积范围内的微区光谱响应分布... 为了反映器件几何尺度上各个区域的性能分布,采用波长为852 nm且可调聚焦面积的激光束作用在CdTe薄膜太阳电池的P-N结微区表面,产生定域诱导光致电流响应,并通过设置样品台的步进方式,得到了所测器件在几何面积范围内的微区光谱响应分布图,获得更直观的器件电流分布均匀性和P-N结特性。结果表明,这种测试方式能够简化且低成本地建立与CdS/CdTe异质结制作技术密切相关的沉积与后处理工艺参数和材料特性的联系,进而获得异质结界面分布均匀性与太阳电池电流-电压(I-V)特性参数均匀性的对应关系。该研究可为提高太阳电池的性能提供实验测试依据。 展开更多
关键词 激光技术 微区光谱响应 激光诱导 CdTe薄膜太阳电池
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