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中频磁控溅射制备GaN薄膜 被引量：3
1
作者 丁咚 阴明利 +2 位作者 邹长伟 郭立平 付德君 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期515-518,共4页
采用中频磁控溅射技术,以金属Ga为靶材料,在Si(111)衬底上形成了GaN薄膜,研究了溅射压强、衬底温度等对GaN薄膜结构和成分的影响。发现沉积气压为0.4～1.0Pa时,薄膜呈GaN(002)取向,气压大于1.0Pa和小于0.4Pa时,用X射线衍射方法难以观察... 采用中频磁控溅射技术,以金属Ga为靶材料,在Si(111)衬底上形成了GaN薄膜,研究了溅射压强、衬底温度等对GaN薄膜结构和成分的影响。发现沉积气压为0.4～1.0Pa时,薄膜呈GaN(002)取向,气压大于1.0Pa和小于0.4Pa时,用X射线衍射方法难以观察到GaN(002)的衍射峰。X射线能谱分析表明在最佳实验条件下制备的GaN薄膜的元素比Ga:N为1:1。 展开更多
关键词 中频磁控溅射 GAN X射线衍射 沉积速率
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离子-C_(60)相互作用及其对C_(60)/Si异质结光电特性的影响
2
作者 雷园园 傅德君 +3 位作者 李金钗 郭怀喜 叶明生 范湘军 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期49-54,共6页
用离化团簇束（ＩＣＢ）沉积法制备了Ｃ６０薄膜。ＸＲＤ测试表明，膜呈多晶结构；原位电阻测试表明，膜的室温电阻率超过１０３Ωｃｍ，具有负的电阻温度系数。用８０ｋｅＶｐ＋，ＢＢｒ３＋，Ａｒ＋和Ｈｅ＋对Ｃ６０膜作剂量范围为０... 用离化团簇束（ＩＣＢ）沉积法制备了Ｃ６０薄膜。ＸＲＤ测试表明，膜呈多晶结构；原位电阻测试表明，膜的室温电阻率超过１０３Ωｃｍ，具有负的电阻温度系数。用８０ｋｅＶｐ＋，ＢＢｒ３＋，Ａｒ＋和Ｈｅ＋对Ｃ６０膜作剂量范围为０—１０１６ｃｍ－２的离子注入，Ｃ６０膜的电阻率随注入剂量的增加而下降，ｐ＋注入使膜呈ｎ型电导，离子与Ｃ６０团簇的相互作用导致Ｃ６０分裂，并使膜表面非晶化。在沉积过程中溅射掺Ａｌ得到ｐ型Ｃ６０膜。Ｃ６０／Ｓｉ样品具有明显的异质结特性，光照对结特性有明显响应。 展开更多
关键词 离化团簇束沉积 光电性质 碳60/硅 异质结
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GaN材料中离子注入的研究进展
3
作者 罗海林 王琼 +1 位作者 雷圆圆 范湘军 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期27-29,共3页
综述了GaN材料中离子注入的研究进展,重点介绍了离子注入技木在 GaN材料中的发光(PL,EL,CL)研究,注入隔离,p-型/n-型掺杂和深能级缺陷研究中的应用。
关键词 离子注入 发光 掺杂 深能级缺陷 氮化镓
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武汉大学加速器-透射电镜联机系统 被引量：1
4
作者 宋搏 郭立平 +4 位作者 黎明 刘传胜 叶明生 付德君 范湘军 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期777-780,共4页
本文介绍我国第一台加速器-电镜联机装置,该装置由一台2×1.7MV串列加速器、一台国产200kV离子注入机和一台日立H800型透射电子显微镜组成,并通过联机传输系统实现联机。目前离子束已进入电镜样品室,达到原位观测的要求。
关键词 加速器 离子注入机 电子显微镜 联机 原位
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加速器-电镜联机的离子光路及其调整方案 被引量：1
5
作者 叶小舟 杨铮 +7 位作者 周霖 欧阳中亮 黎明 刘传胜 郭立平 任峰 蒋昌忠 付德君 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第B09期276-280,共5页
离子辐照引起的材料微结构变化是一个复杂的过程,用加速器-电镜联机装置可原位观察载能离子束辐照引起的材料微结构演变。武汉大学加速器-电镜联机装置由1台2×1.7 MV串列加速器、1台200 kV离子注入机和1台200 kV透射电镜组成,通过... 离子辐照引起的材料微结构变化是一个复杂的过程,用加速器-电镜联机装置可原位观察载能离子束辐照引起的材料微结构演变。武汉大学加速器-电镜联机装置由1台2×1.7 MV串列加速器、1台200 kV离子注入机和1台200 kV透射电镜组成,通过自行设计的传输系统实现联机。本文介绍联机装置的光路布局,给出了静电加速器离子动力学计算程序LEADS(linear and electrostatic accelerator dynamics simulation)优化计算的结果,提出了两种改进方案,并用LEADS对改造后的加速器-电镜联机中离子运动进行了计算。结果显示,调整现光路二单元四极透镜的同时,在200 kV注入机90°偏转磁铁至电镜之间增加1个二单元静电四极透镜,将提高该系统中离子束传输效率。 展开更多
关键词 加速器 离子注入机 透射电镜 联机 离子光路
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串列加速器-离子注入机-透射电镜联机系统的建立
6
作者 郭立平 刘传胜 +4 位作者 黎明 宋搏 叶明生 付德君 范湘军 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期648-652,共5页
建立了由2×1．7MV串列加速器、200kV离子注入机、H800型透射电子显微镜和联机传输系统组成的我国第1套串列加速器-离子注入机-透射电子显微镜联机装置。对主要设备进行了改造，并采取有效措施解决了联机装置的隔震问题。2台加速器... 建立了由2×1．7MV串列加速器、200kV离子注入机、H800型透射电子显微镜和联机传输系统组成的我国第1套串列加速器-离子注入机-透射电子显微镜联机装置。对主要设备进行了改造，并采取有效措施解决了联机装置的隔震问题。2台加速器和所有的真空泵都运行时，电镜仍可正常工作，观察到的图像质量不受振动影响。电镜室内样品倾斜角最大可达52°以上，离子注入不影响电镜观测，可进行离子注入的原位和实时结构研究。离子注入机输出的115keV氮离子在电镜入口测得的束流强度达100～180nA。初步实验已原位观察到氮离子注入导致单晶硅非晶化的过程，显示这套装置具有离子注入条件下的原位观测能力。 展开更多
关键词 原位透射电子显微镜 加速器 联机装置 离子注入
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