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高速钢刀具镀氮化碳超硬涂层研究
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作者 吴大雄 吴越侠 等 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第B12期39-43,共5页
本文采用DC反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氮化碳－氮化钛复合膜，经X射线衍射分析，复合膜中存在α-C3N4和β－C3N4的硬质相，复合膜的显微硬度HK＝（50．5－54．1）GPa，它与高速钢基体的附着力，用划痕试验测... 本文采用DC反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氮化碳－氮化钛复合膜，经X射线衍射分析，复合膜中存在α-C3N4和β－C3N4的硬质相，复合膜的显微硬度HK＝（50．5－54．1）GPa，它与高速钢基体的附着力，用划痕试验测得临界载荷Lc=(40-80)N，多种刀具试用证实，该涂层具有很高的耐磨性，与未涂层和镀TiN的刀具相比，大幅度提高了刀具的耐用度。 展开更多
关键词 超硬涂层 氮化碳 超硬薄膜 高速工具钢 涂层刀具 电弧离子镀 DC反应磁控溅射
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