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大功率半导体器件生产线的酸雾净化系统设计
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作者 李杨 《环境工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期70-72,共3页
介绍了大功率半导体器件生产线的酸雾净化系统设计,该系统可靠性高,结构合理,实现了对酸碱废气的净化处理,为类似工程的设计提供了参考。
关键词 酸雾净化系统 设计 净化吸收塔
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