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大功率半导体器件生产线的酸雾净化系统设计
1
作者
李杨
《环境工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期70-72,共3页
介绍了大功率半导体器件生产线的酸雾净化系统设计,该系统可靠性高,结构合理,实现了对酸碱废气的净化处理,为类似工程的设计提供了参考。
关键词
酸雾净化系统
设计
净化吸收塔
原文传递
题名
大功率半导体器件生产线的酸雾净化系统设计
1
作者
李杨
机构
株洲
南车
时代
电气
公司
出处
《环境工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期70-72,共3页
文摘
介绍了大功率半导体器件生产线的酸雾净化系统设计,该系统可靠性高,结构合理,实现了对酸碱废气的净化处理,为类似工程的设计提供了参考。
关键词
酸雾净化系统
设计
净化吸收塔
Keywords
acid mist decontaminating system
design
decontaminating absorbing tower
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大功率半导体器件生产线的酸雾净化系统设计
李杨
《环境工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010
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