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SAM法研究银透过金镀层的表面富集 被引量：2
1
作者 李望 展振宗 +6 位作者 景晶 齐芸馨 王改莲 唐文泰 汪美玲 袁保玲 李久安 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第1期44-48,共5页
基底元素透过镀层于表面富集可使镀层失去作用和意义,导致元、器件失效。对银上镀金样品的SAM法研究结果表明,常温下这种富集主要是基底元素通过缺陷和晶界扩散穿透镀层再行表面扩散而遍及表面的;镀件的表面吸附与表面富集的发生密切相... 基底元素透过镀层于表面富集可使镀层失去作用和意义,导致元、器件失效。对银上镀金样品的SAM法研究结果表明,常温下这种富集主要是基底元素通过缺陷和晶界扩散穿透镀层再行表面扩散而遍及表面的;镀件的表面吸附与表面富集的发生密切相关。文中给出了随时间的推移,银于表面富集情况的清晰的俄歇相。已发展出新的工艺,可以明显地延缓基底元素透过镀层到表面的富集。 展开更多
关键词 表面富集 SAM 表面吸附 金镀层 表面扩散 晶界扩散 镀件 席光康 二次电子象 离子束溅射
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