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基于SCR的ESD器件低触发电压设计 被引量:8
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作者 李冰 杨袁渊 董乾 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期561-565,共5页
设计和验证了三种低电压触发的SCR结构ESD保护电路,采用上华0.5μmCMOS工艺流片,测试表明,所有的器件都具有低电压触发特性,在器件宽度只有50μm的条件下,能达到400V正向机器模式的ESD性能。实验中发现了意外失效情况,文章给出了分析。
关键词 静电释放 可控硅 低触发电压
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