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一种四极质谱残余气体分析的实用方法 被引量:1
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作者 罗世敏 《真空》 CAS 北大核心 1989年第4期28-35,共8页
高真空系统残气分析对提高电真空器件的性能、质量和寿命具有重要作用。四极质 谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱定性分 析是定量分析的基础。绝对灵敏度常数法和相对灵敏度常数法可以通过四极... 高真空系统残气分析对提高电真空器件的性能、质量和寿命具有重要作用。四极质 谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱定性分 析是定量分析的基础。绝对灵敏度常数法和相对灵敏度常数法可以通过四极质谱计的灵 敏度定义相互联系起来。以相对灵敏度常数法为基础,将四极质谱计与电离真空计结合 起来,进行分压强和总压强测定的方案具有很高的灵敏度,能得到更好的重复性。 展开更多
关键词 质谱检漏仪 真空检漏
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