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一种四极质谱残余气体分析的实用方法
被引量:
1
1
作者
罗世敏
《真空》
CAS
北大核心
1989年第4期28-35,共8页
高真空系统残气分析对提高电真空器件的性能、质量和寿命具有重要作用。四极质 谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱定性分 析是定量分析的基础。绝对灵敏度常数法和相对灵敏度常数法可以通过四极...
高真空系统残气分析对提高电真空器件的性能、质量和寿命具有重要作用。四极质 谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱定性分 析是定量分析的基础。绝对灵敏度常数法和相对灵敏度常数法可以通过四极质谱计的灵 敏度定义相互联系起来。以相对灵敏度常数法为基础,将四极质谱计与电离真空计结合 起来,进行分压强和总压强测定的方案具有很高的灵敏度,能得到更好的重复性。
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关键词
质谱检漏仪
真空检漏
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职称材料
题名
一种四极质谱残余气体分析的实用方法
被引量:
1
1
作者
罗世敏
机构
成都
国光
电子管
总厂
电子产品
研究所
出处
《真空》
CAS
北大核心
1989年第4期28-35,共8页
文摘
高真空系统残气分析对提高电真空器件的性能、质量和寿命具有重要作用。四极质 谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱定性分 析是定量分析的基础。绝对灵敏度常数法和相对灵敏度常数法可以通过四极质谱计的灵 敏度定义相互联系起来。以相对灵敏度常数法为基础,将四极质谱计与电离真空计结合 起来,进行分压强和总压强测定的方案具有很高的灵敏度,能得到更好的重复性。
关键词
质谱检漏仪
真空检漏
分类号
TB774.3 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种四极质谱残余气体分析的实用方法
罗世敏
《真空》
CAS
北大核心
1989
1
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