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题名减反膜制备工艺及其应用
被引量：9
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作者
罗海燕
黄光周
马国欣
朱建明
戴晋福
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机构
华南理工大学电信学院
广东肇庆市科润真空设备有限公司
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出处
《真空电子技术》
2009年第3期23-29,共7页
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文摘
减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位,其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点,如真空蒸镀法、溅射镀法、溶胶-凝胶法等。并提出了相应的改进方法,分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景,为减反膜的制备提供了参考。
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关键词
减反膜
制备工艺
反射率
透射率
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Keywords
Anti-reflective film
Preparation technology
Reflectance
Transmission
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名高反膜镀制工艺研究的新进展
被引量：4
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作者
邓婷
黄光周
刘雄英
朱建明
戴晋福
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机构
华南理工大学电子与信息学院
广东肇庆市科润真空设备有限公司
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出处
《真空电子技术》
2009年第3期30-36,共7页
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文摘
叙述了近几年国内外的研究进展,包括高反膜几种不同的制备工艺,如电子束蒸发沉积、离子束辅助沉积、离子束溅射沉积和溶胶-凝胶沉积法等,分析了各种制备方法及工艺的特点;针对高反膜的抗激光损伤阈值低从而影响激光器输出功率的问题,讨论了提高损伤阈值的途径;最后归纳了各种制备工艺的优缺点,并探讨了进一步提高薄膜反射率的可能性。
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关键词
高反膜
反射率
制备工艺
损伤阈值
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Keywords
High reflectance coating
The index of reflection
Craft of manufacture
Damage threshold value
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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