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锁相技术在电子束曝光机工件台稳速控制中的应用
被引量：
1
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作者
魏守水
张玉林
付光达
《微细加工技术》
1996年第2期7-11,共5页
采用销相技术，对电子束曝光机工件台运动实现速度环的全数字控制。设计了数字差频积分回路和数字差频比例控制器，能有效消除速度的静态误差和改善系统的动态特性。
关键词
电子束曝光机
工件台
锁相技术
稳速控制
下载PDF
职称材料
题名
锁相技术在电子束曝光机工件台稳速控制中的应用
被引量：
1
1
作者
魏守水
张玉林
付光达
机构
山东工业大学
自动控制
系
出处
《微细加工技术》
1996年第2期7-11,共5页
文摘
采用销相技术，对电子束曝光机工件台运动实现速度环的全数字控制。设计了数字差频积分回路和数字差频比例控制器，能有效消除速度的静态误差和改善系统的动态特性。
关键词
电子束曝光机
工件台
锁相技术
稳速控制
Keywords
electron beam exposure machine
stage
phase-locked method
speed stabilization
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
锁相技术在电子束曝光机工件台稳速控制中的应用
魏守水
张玉林
付光达
《微细加工技术》
1996
1
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