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Ⅲ—V族化合物半导体欧姆接触研究的进展
1
作者 孙序文 《光通信研究》 1987年第2期45-49,共5页
本文介绍一种解释欧姆接触的比接触电阻ρ_c的新模型。并从理论上分析了利用RF溅射清洗半导体表面可使ρ_c降低的机理。
关键词 欧姆接触 半导体表面 比接触电阻 溅射清洗 肖特基势垒 金属-半导体接触 化合物半导体
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