-
题名一种基于矩形波导缝隙天线的微波低压等离子体装置
- 1
-
-
作者
苏勇
吴丽
刘高宸
黄卡玛
-
机构
四川大学电子信息学院
四川富美达微电子有限公司
-
出处
《真空电子技术》
2023年第2期65-69,共5页
-
基金
用于芯片封装过程清洁的常压线形微波低温等离子体源研发项目(2021CDSN-11)。
-
文摘
低压等离子体以其放电面积大、均匀性较好、适用于大规模工业应用等优势备受关注。相比于低频等离子体,微波激发的等离子体在电子密度、电离度、活性和装置能量利用率方面性能更优越,应用场景更广阔。本文基于矩形波导缝隙天线及谐振腔结构,设计了一种工作于2.45 GHz的微波低压大面积均匀等离子体装置,为增加等离子体的激发面积且使其更均匀,在馈波波导与反应腔体间设置了多个漏波缝隙,并优化了缝隙的位置和大小,使得腔体内部电场更加均匀。仿真结果显示,优化后反应腔体内部电场分布均匀性良好。实验测试结果表明,反应腔体内部不同位置的等离子体电子密度和等离子体电子温度均呈现均匀状态,证明了该装置激发产生了均匀等离子体。
-
关键词
微波低压等离子体
缝隙天线
均匀性
等离子体密度
等离子体温度
-
Keywords
Microwave low-pressure plasma
Slot antenna
Uniformity
Plasma density
Plasma temperature
-
分类号
TN82
[电子电信—信息与通信工程]
-
-
题名如何在化工企业中推行6S管理
- 2
-
-
作者
王静
刚海涛
-
机构
大化集团责任有限公司合成氨厂
富美达
-
出处
《大化科技》
2009年第2期5-7,4,共4页
-
文摘
针对当前化工企业的实际情况，分析了6S管理的特点，以及如何建立及实施6S管理。
-
关键词
6S管理制度
现状
-
分类号
F426.7
[经济管理—产业经济]
-
-
题名苦卤法制备氢氧化镁副产盐水在纯碱生产中的利用
- 3
-
-
作者
奚颍
于郑洲
刘乃琦
王克文
马彩红
-
机构
大化集团技术中心
大连富美达科技有限公司
-
出处
《纯碱工业》
CAS
2004年第3期24-25,共2页
-
文摘
通过对镁基阻燃剂生产过程中副产物含盐母液及洗涤水处理方法的分析,确定将含盐母液及洗涤水直接送至碱厂作为生产纯碱的原料,不仅可节约项目投资(副产处理),而且可增加效益,做到清洁文明生产。
-
关键词
镁基阻燃剂
纯碱
苦卤
烧碱
-
分类号
TQ132.2
[化学工程—无机化工]
-
-
题名F-111酯类增稠剂的合成与性能
- 4
-
-
作者
黄锦灿
-
机构
广东省清远市清新区富美达化学技术服务部
-
出处
《中小企业管理与科技》
2013年第22期304-305,共2页
-
文摘
以丙烯酸,聚醚为原料,以酸催化剂为引发剂。经酯化共聚,合成了一种适宜于水性体系增稠的水溶性丙烯酸酯类增稠剂。并研究了其应用性能,结果表明,产品具有重要的推广价值和广阔的应用前景。
-
关键词
F-111增稠剂
增稠性能
洗涤剂增稠
-
分类号
TQ334.9
[化学工程—橡胶工业]
-
