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聚氨酯/无纺布复合抛光垫的微结构控制及透水性能改进
被引量:
2
1
作者
张晓丹
成惠民
+2 位作者
曹新宇
张京楠
马永梅
《塑料》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期26-28,38,共4页
化学机械抛光中,抛光垫的材料特性是影响抛光效率和光亮度的重要因素之一。聚氨酯抛光垫通常由聚氨酯和无纺布复合制备而成。具有微结构可调性能的聚氨酯抛光垫由改进后的两步法制得,无纺布浸渍聚氨酯浆料后,部分溶剂在水浴中去除,然后...
化学机械抛光中,抛光垫的材料特性是影响抛光效率和光亮度的重要因素之一。聚氨酯抛光垫通常由聚氨酯和无纺布复合制备而成。具有微结构可调性能的聚氨酯抛光垫由改进后的两步法制得,无纺布浸渍聚氨酯浆料后,部分溶剂在水浴中去除,然后在烘箱中去除剩余溶剂。改进后工艺的预凝聚温度、预凝聚时间、浆料浓度等参数获得了优化,并研究了其对抛光垫结构、性能的影响。改进后的方法使聚氨酯与无纺布纤维紧密结合,既保证了纤维之间孔隙的存在,又增加了材料的强度,在不损失材料硬度的前提下,显著提高了产品的透水性,并有利于打磨效率的提高。与此同时,该方法可以有效减少有机溶剂的使用,大幅缩减生产成本,具有节能、环保的特点。
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关键词
抛光垫
微观结构控制
硬度
透水性
聚氨酯
下载PDF
职称材料
题名
聚氨酯/无纺布复合抛光垫的微结构控制及透水性能改进
被引量:
2
1
作者
张晓丹
成惠民
曹新宇
张京楠
马永梅
机构
中国科学院化学研究所
宁波
加利得
仿生
材料
有限公司
出处
《塑料》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期26-28,38,共4页
文摘
化学机械抛光中,抛光垫的材料特性是影响抛光效率和光亮度的重要因素之一。聚氨酯抛光垫通常由聚氨酯和无纺布复合制备而成。具有微结构可调性能的聚氨酯抛光垫由改进后的两步法制得,无纺布浸渍聚氨酯浆料后,部分溶剂在水浴中去除,然后在烘箱中去除剩余溶剂。改进后工艺的预凝聚温度、预凝聚时间、浆料浓度等参数获得了优化,并研究了其对抛光垫结构、性能的影响。改进后的方法使聚氨酯与无纺布纤维紧密结合,既保证了纤维之间孔隙的存在,又增加了材料的强度,在不损失材料硬度的前提下,显著提高了产品的透水性,并有利于打磨效率的提高。与此同时,该方法可以有效减少有机溶剂的使用,大幅缩减生产成本,具有节能、环保的特点。
关键词
抛光垫
微观结构控制
硬度
透水性
聚氨酯
Keywords
polishing pad
microstructure control
hardness
permeability
polyurethane
分类号
TQ323.8 [化学工程—合成树脂塑料工业]
TQ340.6
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
聚氨酯/无纺布复合抛光垫的微结构控制及透水性能改进
张晓丹
成惠民
曹新宇
张京楠
马永梅
《塑料》
CAS
CSCD
北大核心
2016
2
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职称材料
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