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多层薄膜微结构热应力计算
被引量：
5
1
作者
王锡明
王军军
周嘉
《微细加工技术》
EI
2007年第2期20-23,共4页
建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式。在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性。所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建...
建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式。在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性。所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建模型具有非常好的实用性,可以为多层薄膜微结构设计和优化提供理论依据。
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关键词
微机电系统
残余应力
模拟
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职称材料
SF_6/O_2气氛下Al对反应离子刻蚀Si的增强作用机理研究
被引量：
1
2
作者
程正喜
郭育林
周嘉
《微细加工技术》
EI
2007年第1期56-59,共4页
通过实验和统计分析方法研究了Al在SF6/O2气体干法刻蚀Si中的增强作用机理。研究表明,Al在SF6/O2刻蚀Si中具有增强作用,而且Al的增强作用基本独立,受其它刻蚀条件的影响较小。Al对Si刻蚀速率的增强作用并非都是由于衬底温度升高所致,而...
通过实验和统计分析方法研究了Al在SF6/O2气体干法刻蚀Si中的增强作用机理。研究表明,Al在SF6/O2刻蚀Si中具有增强作用,而且Al的增强作用基本独立,受其它刻蚀条件的影响较小。Al对Si刻蚀速率的增强作用并非都是由于衬底温度升高所致,而是Al表面形成的AlF单原子层起到了催化作用,使SF6分解出更多的F自由基,从而提高了Si的刻蚀速率。
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关键词
反应离子刻蚀
AL
SF6/O2
催化作用
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职称材料
使用多路复用技术控制可变形反射镜
被引量：
2
3
作者
宋宏
周嘉
黄宜平
《复旦学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期485-488,494,共5页
提出了将多路复用技术应用于可变形反射镜控制的思想,并以实验验证了其可行性.结果显示,仅用一个高压放大器,对于12个执行器的可变形反射镜,最大镜面刷新频率可达700 Hz;此数据外推可知,对于20个执行器的可变形反射镜最大刷新频率可达40...
提出了将多路复用技术应用于可变形反射镜控制的思想,并以实验验证了其可行性.结果显示,仅用一个高压放大器,对于12个执行器的可变形反射镜,最大镜面刷新频率可达700 Hz;此数据外推可知,对于20个执行器的可变形反射镜最大刷新频率可达400 Hz.而对于400个执行器的情况,若使用20个高压放大器,最大刷新频率仍为400 Hz.与传统控制方法相比,该系统具有低功耗、低成本的优点,可用于大型、超大型自适应光学系统中变形反射镜的控制.
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关键词
自适应光学
可变形反射镜
多路复用
原文传递
基于45nm技术的ULSI互连结构的温度模拟
4
作者
王锡明
周嘉
+1 位作者
阮刚
LEE H-D
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期474-477,481,共5页
应用自行建立的准二维简化模型,计算了三种基于45 nm节点技术的ULSI九层低介电常数介质互连结构的温度升高。与ANSYS的分析对比表明,简化模型误差为7.7%。三种互连结构中,结构III设计具有最佳的散热能力,不仅工作时绝对温升小,而且随衬...
应用自行建立的准二维简化模型,计算了三种基于45 nm节点技术的ULSI九层低介电常数介质互连结构的温度升高。与ANSYS的分析对比表明,简化模型误差为7.7%。三种互连结构中,结构III设计具有最佳的散热能力,不仅工作时绝对温升小,而且随衬底温度和介质导热系数的温升加大也小;结构I的散热能力良好,结构III最差。对三种互连结构的尺寸分析表明,层间介质的厚度对互连系统的温升影响大,必须在电学模拟和温度模拟完成后找到一个最佳厚度值,以保证既有好的散热条件,又有利于减小RC延迟。互连结构的温升随电介质导热系数的减小呈二阶指数升高,特别当介质导热系数小于0.1 W/℃.m时,互连结构设计将会成为器件温升和系统可靠性的关键所在,引入新技术或许势在必行。
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关键词
超大规模集成电路
铜互连
温度分析
低介电常数材料
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职称材料
具有激振和测振的新型压电微悬臂梁设计
5
作者
王锡明
周嘉
黄宜平
《复旦学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期674-680,695,共8页
设计了几种新型压电微悬臂梁结构,目的是实现微悬臂梁同时具有激振和测振功能.设计的微悬臂梁尺寸(长×宽×厚)为860μm×300μm×2.11μm;设计了4种可以同时实现激振和测振功能的上电极形状;分析了上电极与信号传递函...
设计了几种新型压电微悬臂梁结构,目的是实现微悬臂梁同时具有激振和测振功能.设计的微悬臂梁尺寸(长×宽×厚)为860μm×300μm×2.11μm;设计了4种可以同时实现激振和测振功能的上电极形状;分析了上电极与信号传递函数值的关系,并对微悬臂梁进行了静态响应、模态分析和谐响应分析.可以看到采用Ⅱ型上电极设计的微悬臂梁既可以实现激振和测振功能,同时具有最佳的静态灵敏度和较高的品质因子,为优化的设计结构.
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关键词
压电微悬臂梁
谐振传感器
优化设计模拟
锆钛酸铅
原文传递
题名
多层薄膜微结构热应力计算
被引量：
5
1
作者
王锡明
王军军
周嘉
机构
合肥
学
院机械
系
复旦大学
专用
集成电路
与
系统
国家
重点
实验室
微电子学
系
出处
《微细加工技术》
EI
2007年第2期20-23,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60476032)
上海市自然科学基金资助项目(05ZR14015)
东南大学MEMS教育部重点实验室开放研究基金资助项目
文摘
建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式。在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性。所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建模型具有非常好的实用性,可以为多层薄膜微结构设计和优化提供理论依据。
关键词
微机电系统
残余应力
模拟
Keywords
MEMS
residual stress
simulation
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
SF_6/O_2气氛下Al对反应离子刻蚀Si的增强作用机理研究
被引量：
1
2
作者
程正喜
郭育林
周嘉
机构
复旦大学
专用
集成电路
与
系统
国家
重点
实验室
微电子学
系
出处
《微细加工技术》
EI
2007年第1期56-59,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60476032)
上海市自然科学基金资助项目(05ZR14015)
文摘
通过实验和统计分析方法研究了Al在SF6/O2气体干法刻蚀Si中的增强作用机理。研究表明,Al在SF6/O2刻蚀Si中具有增强作用,而且Al的增强作用基本独立,受其它刻蚀条件的影响较小。Al对Si刻蚀速率的增强作用并非都是由于衬底温度升高所致,而是Al表面形成的AlF单原子层起到了催化作用,使SF6分解出更多的F自由基,从而提高了Si的刻蚀速率。
关键词
反应离子刻蚀
AL
SF6/O2
催化作用
Keywords
reactive ion etching(RIE)
Al
SF6/O2
catalytic action
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
使用多路复用技术控制可变形反射镜
被引量：
2
3
作者
宋宏
周嘉
黄宜平
机构
复旦大学
专用
集成电路
与
系统
国家
重点
实验室
微电子学
系
出处
《复旦学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期485-488,494,共5页
文摘
提出了将多路复用技术应用于可变形反射镜控制的思想,并以实验验证了其可行性.结果显示,仅用一个高压放大器,对于12个执行器的可变形反射镜,最大镜面刷新频率可达700 Hz;此数据外推可知,对于20个执行器的可变形反射镜最大刷新频率可达400 Hz.而对于400个执行器的情况,若使用20个高压放大器,最大刷新频率仍为400 Hz.与传统控制方法相比,该系统具有低功耗、低成本的优点,可用于大型、超大型自适应光学系统中变形反射镜的控制.
关键词
自适应光学
可变形反射镜
多路复用
Keywords
adaptive optics
deformable mirror
multiplexing control
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
基于45nm技术的ULSI互连结构的温度模拟
4
作者
王锡明
周嘉
阮刚
LEE H-D
机构
合肥
学
院机械
系
复旦大学
专用
集成电路
与
系统
国家
重点
实验室
微电子学
系
城南国立
大学
电子
工程
系
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期474-477,481,共5页
基金
中韩合作项目"Modeling and simulation of the rmal generation and dissipation in chip using Tera-level Nano CMO Stechnology with multi-level metallization"(TND100-130-131)资助
文摘
应用自行建立的准二维简化模型,计算了三种基于45 nm节点技术的ULSI九层低介电常数介质互连结构的温度升高。与ANSYS的分析对比表明,简化模型误差为7.7%。三种互连结构中,结构III设计具有最佳的散热能力,不仅工作时绝对温升小,而且随衬底温度和介质导热系数的温升加大也小;结构I的散热能力良好,结构III最差。对三种互连结构的尺寸分析表明,层间介质的厚度对互连系统的温升影响大,必须在电学模拟和温度模拟完成后找到一个最佳厚度值,以保证既有好的散热条件,又有利于减小RC延迟。互连结构的温升随电介质导热系数的减小呈二阶指数升高,特别当介质导热系数小于0.1 W/℃.m时,互连结构设计将会成为器件温升和系统可靠性的关键所在,引入新技术或许势在必行。
关键词
超大规模集成电路
铜互连
温度分析
低介电常数材料
Keywords
ULSI
Copper interconnect
Temperature analysis
Low k material
分类号
TN405.97 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
具有激振和测振的新型压电微悬臂梁设计
5
作者
王锡明
周嘉
黄宜平
机构
合肥
学
院机械
系
复旦大学
专用
集成电路
与
系统
国家
重点
实验室
微电子学
系
出处
《复旦学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期674-680,695,共8页
基金
国家自然科学基金(60876085)资助项目
文摘
设计了几种新型压电微悬臂梁结构,目的是实现微悬臂梁同时具有激振和测振功能.设计的微悬臂梁尺寸(长×宽×厚)为860μm×300μm×2.11μm;设计了4种可以同时实现激振和测振功能的上电极形状;分析了上电极与信号传递函数值的关系,并对微悬臂梁进行了静态响应、模态分析和谐响应分析.可以看到采用Ⅱ型上电极设计的微悬臂梁既可以实现激振和测振功能,同时具有最佳的静态灵敏度和较高的品质因子,为优化的设计结构.
关键词
压电微悬臂梁
谐振传感器
优化设计模拟
锆钛酸铅
Keywords
piezoelectric microcantilever
resonant sensor
optimized design
PZT
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多层薄膜微结构热应力计算
王锡明
王军军
周嘉
《微细加工技术》
EI
2007
5
下载PDF
职称材料
2
SF_6/O_2气氛下Al对反应离子刻蚀Si的增强作用机理研究
程正喜
郭育林
周嘉
《微细加工技术》
EI
2007
1
下载PDF
职称材料
3
使用多路复用技术控制可变形反射镜
宋宏
周嘉
黄宜平
《复旦学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2006
2
原文传递
4
基于45nm技术的ULSI互连结构的温度模拟
王锡明
周嘉
阮刚
LEE H-D
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
下载PDF
职称材料
5
具有激振和测振的新型压电微悬臂梁设计
王锡明
周嘉
黄宜平
《复旦学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
原文传递
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