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添加剂元素对AZO薄膜性能的研究进展
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作者 李春光 王飞 +1 位作者 安涛 王东新 《中国材料进展》 CSCD 2013年第12期752-759,共8页
近年来,国内外些研究者对添加剂元素与铝元素共掺杂的ZnO薄膜展了许多研究并发现在AZO薄膜掺入添加剂元素不仅会增强AZO薄膜的光电特性,而且还能优化其晶体结构和表面形貌,某些添加剂元素还可以提高AZO薄膜的多项性能和稳定性,这对研究... 近年来,国内外些研究者对添加剂元素与铝元素共掺杂的ZnO薄膜展了许多研究并发现在AZO薄膜掺入添加剂元素不仅会增强AZO薄膜的光电特性,而且还能优化其晶体结构和表面形貌,某些添加剂元素还可以提高AZO薄膜的多项性能和稳定性,这对研究AZO薄膜性能的提高提供了个更具潜力的研究方向。介绍了AZO薄膜的基本结构、基本特性以及光电性能原理。对添加剂元素对AZO薄膜结构的研究和光电性能的研究进行了归纳和总结,并且与AZO薄膜进行了对比。综述了添加剂元素掺入的AZO薄膜目前所采用的磁控溅射法、溶胶-凝胶法和脉冲激光法三种主要制备技术以及其优缺点,同时阐述了不同方法掺入添加剂元素的AZO薄膜的研究进展。后介绍了添加剂元素掺入的AZO薄膜在光电领域的应用,展望了其未来发展与研究趋势。 展开更多
关键词 AZO薄膜 添加剂元素 光电性能 薄膜性能
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