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小直径金属基球头金刚石砂轮电火花修整技术
被引量:
10
1
作者
陈明君
李子昂
+3 位作者
梁迎春
方针
余波
罗康俊
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第23期180-185,共6页
针对深凹非球曲面器件及半球谐振子超精密磨削中使用的小直径金属基球头金刚石砂轮,提出一种基于电火花修整原理的精密修整方法。从理论上分析机械误差及修整参数对砂轮修整后面形精度的影响,基于理论分析结果研制金刚石球头砂轮电火花...
针对深凹非球曲面器件及半球谐振子超精密磨削中使用的小直径金属基球头金刚石砂轮,提出一种基于电火花修整原理的精密修整方法。从理论上分析机械误差及修整参数对砂轮修整后面形精度的影响,基于理论分析结果研制金刚石球头砂轮电火花修整装置。通过正交试验研究修整参数对砂轮面形精度的影响规律,得到最优电火花修整参数。试验结果表明,修整后的砂轮面形精度优于0.8μm,磨粒突出效果良好,可以满足半球谐振子及其他光学零件超精密磨削中砂轮修整需要。
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关键词
金属基金刚石砂轮
小直径球头
电火花修整
面形精度
修整参数
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职称材料
电化学阳极氧化制备多孔硅及其发光性能研究
被引量:
3
2
作者
刘东来
聂二勇
+6 位作者
张云森
袁超
沈晓帆
杨治美
刘俊刚
龚敏
孙小松
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期375-379,共5页
利用电化学阳极氧化法,通过控制电流密度和电解液的成分,在p型(100)硅衬底上制备了大孔的多孔硅结构,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和紫外荧光光度计研究了不同条件下制备的多孔硅样品的行貌特征、结构和发光性能。在此基础上进一步...
利用电化学阳极氧化法,通过控制电流密度和电解液的成分,在p型(100)硅衬底上制备了大孔的多孔硅结构,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和紫外荧光光度计研究了不同条件下制备的多孔硅样品的行貌特征、结构和发光性能。在此基础上进一步考察了对多孔硅样品进行氢氟酸浸泡刻蚀和阴极氢饱和处理对其发光性能的影响。讨论了后处理对多孔硅发光性能影响的机理。
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关键词
多孔硅
电化学阳极氧化
氢饱和处理
光致发光
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职称材料
题名
小直径金属基球头金刚石砂轮电火花修整技术
被引量:
10
1
作者
陈明君
李子昂
梁迎春
方针
余波
罗康俊
机构
哈尔滨工业大学精密工程
研究所
四川
光电
技术
研究所
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第23期180-185,共6页
基金
国家自然科学基金重点(50935003)
国家高技术研究发展计划(863计划
2009AA044305)资助项目
文摘
针对深凹非球曲面器件及半球谐振子超精密磨削中使用的小直径金属基球头金刚石砂轮,提出一种基于电火花修整原理的精密修整方法。从理论上分析机械误差及修整参数对砂轮修整后面形精度的影响,基于理论分析结果研制金刚石球头砂轮电火花修整装置。通过正交试验研究修整参数对砂轮面形精度的影响规律,得到最优电火花修整参数。试验结果表明,修整后的砂轮面形精度优于0.8μm,磨粒突出效果良好,可以满足半球谐振子及其他光学零件超精密磨削中砂轮修整需要。
关键词
金属基金刚石砂轮
小直径球头
电火花修整
面形精度
修整参数
Keywords
Metal-bonded diamond wheel Small diameter ball head Electrical discharge dressing Profile accuracy Dressing parameter
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
电化学阳极氧化制备多孔硅及其发光性能研究
被引量:
3
2
作者
刘东来
聂二勇
张云森
袁超
沈晓帆
杨治美
刘俊刚
龚敏
孙小松
机构
四川
大学材料科学与工程学院
四川
大学物理科学与
技术
学院微电子科学与
技术
四川
省重点实验室
四川
大学重庆
光电
技术
研究所
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期375-379,共5页
基金
四川省科学基金项目(SCST2006Z08-001-02)
文摘
利用电化学阳极氧化法,通过控制电流密度和电解液的成分,在p型(100)硅衬底上制备了大孔的多孔硅结构,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和紫外荧光光度计研究了不同条件下制备的多孔硅样品的行貌特征、结构和发光性能。在此基础上进一步考察了对多孔硅样品进行氢氟酸浸泡刻蚀和阴极氢饱和处理对其发光性能的影响。讨论了后处理对多孔硅发光性能影响的机理。
关键词
多孔硅
电化学阳极氧化
氢饱和处理
光致发光
Keywords
porous silicon
electrochemical anodization
hydrogen saturation
photoluminescence
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
小直径金属基球头金刚石砂轮电火花修整技术
陈明君
李子昂
梁迎春
方针
余波
罗康俊
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
10
下载PDF
职称材料
2
电化学阳极氧化制备多孔硅及其发光性能研究
刘东来
聂二勇
张云森
袁超
沈晓帆
杨治美
刘俊刚
龚敏
孙小松
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2011
3
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职称材料
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