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小直径金属基球头金刚石砂轮电火花修整技术 被引量:10
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作者 陈明君 李子昂 +3 位作者 梁迎春 方针 余波 罗康俊 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第23期180-185,共6页
针对深凹非球曲面器件及半球谐振子超精密磨削中使用的小直径金属基球头金刚石砂轮,提出一种基于电火花修整原理的精密修整方法。从理论上分析机械误差及修整参数对砂轮修整后面形精度的影响,基于理论分析结果研制金刚石球头砂轮电火花... 针对深凹非球曲面器件及半球谐振子超精密磨削中使用的小直径金属基球头金刚石砂轮,提出一种基于电火花修整原理的精密修整方法。从理论上分析机械误差及修整参数对砂轮修整后面形精度的影响,基于理论分析结果研制金刚石球头砂轮电火花修整装置。通过正交试验研究修整参数对砂轮面形精度的影响规律,得到最优电火花修整参数。试验结果表明,修整后的砂轮面形精度优于0.8μm,磨粒突出效果良好,可以满足半球谐振子及其他光学零件超精密磨削中砂轮修整需要。 展开更多
关键词 金属基金刚石砂轮 小直径球头 电火花修整 面形精度 修整参数
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电化学阳极氧化制备多孔硅及其发光性能研究 被引量:3
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作者 刘东来 聂二勇 +6 位作者 张云森 袁超 沈晓帆 杨治美 刘俊刚 龚敏 孙小松 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期375-379,共5页
利用电化学阳极氧化法,通过控制电流密度和电解液的成分,在p型(100)硅衬底上制备了大孔的多孔硅结构,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和紫外荧光光度计研究了不同条件下制备的多孔硅样品的行貌特征、结构和发光性能。在此基础上进一步... 利用电化学阳极氧化法,通过控制电流密度和电解液的成分,在p型(100)硅衬底上制备了大孔的多孔硅结构,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和紫外荧光光度计研究了不同条件下制备的多孔硅样品的行貌特征、结构和发光性能。在此基础上进一步考察了对多孔硅样品进行氢氟酸浸泡刻蚀和阴极氢饱和处理对其发光性能的影响。讨论了后处理对多孔硅发光性能影响的机理。 展开更多
关键词 多孔硅 电化学阳极氧化 氢饱和处理 光致发光
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